Siliziumbasierte GaN-Epitaxie

Kurzbeschreibung:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. ist ein führender Anbieter von fortschrittlicher Halbleiterkeramik und der einzige Hersteller in China, der gleichzeitig hochreine Siliziumkarbidkeramik (insbesondere die) liefern kannUmkristallisiert SiC) und CVD-SiC-Beschichtung. Darüber hinaus engagiert sich unser Unternehmen auch in Keramikbereichen wie Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid, Zirkonoxid und Siliziumnitrid usw.

 

Produktdetails

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Produktbeschreibung

Unser Unternehmen bietetSiC-BeschichtungProzessdienstleistungen mittels CVD-Methode auf der Oberfläche von Graphit, Keramik und anderen Materialien, so dass spezielle Gase, die Kohlenstoff und Silizium enthalten, bei hoher Temperatur reagieren, um hochreine SiC-Moleküle zu erhalten, die sich auf der Oberfläche der beschichteten Materialien ablagern und bildenSIC-Schutzschicht.

Hauptmerkmale:

1. Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen:

Die Oxidationsbeständigkeit ist auch bei Temperaturen bis zu 1600 °C noch sehr gut.

2. Hohe Reinheit: hergestellt durch chemische Gasphasenabscheidung unter Hochtemperatur-Chlorierungsbedingungen.

3. Erosionsbeständigkeit: hohe Härte, kompakte Oberfläche, feine Partikel.

4. Korrosionsbeständigkeit: Säure, Alkali, Salz und organische Reagenzien.

 

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC-β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickershärte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99,99995

Wärmekapazität

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegekraft

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300

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17
211
Semicera Arbeitsplatz
Semicera Arbeitsplatz 2
Ausrüstungsmaschine
CNN-Verarbeitung, chemische Reinigung, CVD-Beschichtung
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