Graphit-Suszeptor mit Siliziumkarbid-Beschichtung, Wafer-Träger

Kurze Beschreibung:

Semicera bietet ein umfassendes Sortiment an Suszeptoren und Graphitkomponenten für verschiedene Epitaxiereaktoren.

Durch strategische Partnerschaften mit branchenführenden OEMs, umfassende Materialkompetenz und fortschrittliche Fertigungskapazitäten liefert Semicera maßgeschneiderte Designs, um die spezifischen Anforderungen Ihrer Anwendung zu erfüllen.Unser Streben nach Exzellenz stellt sicher, dass Sie optimale Lösungen für Ihre Anforderungen an Epitaxiereaktoren erhalten.

 

Produktdetail

Produkt Tags

Beschreibung

Die CVD-SiC-Beschichtung zeichnet sich durch eine gleichmäßige Struktur, ein kompaktes Material, hohe Temperaturbeständigkeit, Oxidationsbeständigkeit, hohe Reinheit, Säure- und Alkalibeständigkeit und organische Reagenzien sowie stabile physikalische und chemische Eigenschaften aus.
Im Vergleich zu hochreinen Graphitmaterialien beginnt Graphit bei 400 °C zu oxidieren, was zu einem Pulververlust durch Oxidation führt, was zu einer Umweltverschmutzung von Peripheriegeräten und Vakuumkammern führt und die Verunreinigungen der hochreinen Umgebung erhöht.
Allerdings kann die SiC-Beschichtung ihre physikalische und chemische Stabilität bei 1600 Grad aufrechterhalten. Sie wird in der modernen Industrie, insbesondere in der Halbleiterindustrie, häufig verwendet.

FDVCDV

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Unser Unternehmen bietet SiC-Beschichtungsverfahren mittels CVD-Methode auf der Oberfläche von Graphit, Keramik und anderen Materialien an, sodass spezielle Gase, die Kohlenstoff und Silizium enthalten, bei hoher Temperatur reagieren, um hochreine SiC-Moleküle zu erhalten, Moleküle, die auf der Oberfläche der beschichteten Materialien abgeschieden werden. Bildung einer SIC-Schutzschicht.Das gebildete SIC ist fest mit der Graphitbasis verbunden, was der Graphitbasis besondere Eigenschaften verleiht und so die Oberfläche des Graphits kompakt, porösitätsfrei, hochtemperaturbeständig, korrosionsbeständig und oxidationsbeständig macht.

Anwendung

Haupteigenschaften

1. Hochreiner SiC-beschichteter Graphit

2. Überlegene Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit

3. Feine SiC-Kristallbeschichtung für eine glatte Oberfläche

4. Hohe Beständigkeit gegen chemische Reinigung

Hauptspezifikationen von CVD-SIC-Beschichtungen

SiC-CVD
Dichte (g/cc) 3.21
Biegefestigkeit (MPa) 470
Wärmeausdehnung (10-6/K) 4
Wärmeleitfähigkeit (W/mK) 300

Verpackung und Versand

Lieferfähigkeit:
10000 Stück/Stücke pro Monat
Verpackung & Lieferung:
Verpackung: Standard- und starke Verpackung
Polybeutel + Karton + Karton + Palette
Hafen:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Vorlaufzeit:

Menge (Stück) 1 – 1000 >1000
Europäische Sommerzeit.Zeit (Tage) 15 Zu verhandeln
Semicera Arbeitsplatz
Semicera Arbeitsplatz 2
Ausrüstungsmaschine
CNN-Verarbeitung, chemische Reinigung, CVD-Beschichtung
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