Mit Tantalkarbid beschichtete Suszeptor-Trägerplatteist eine Suszeptor- oder Stützstruktur, die mit einer dünnen Schicht bedeckt istTantalkarbid. Diese Beschichtung kann auf der Suszeptoroberfläche durch Techniken wie physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) oder chemische Gasphasenabscheidung (CVD) gebildet werden, wodurch der Suszeptor überragende Eigenschaften erhältTantalkarbid.
Semicera bietet spezielle Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungen für verschiedene Komponenten und Träger.Der führende Beschichtungsprozess von Semicera ermöglicht Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungen, eine hohe Reinheit, hohe Temperaturstabilität und hohe chemische Toleranz zu erreichen und so die Produktqualität von SIC/GAN-Kristallen und EPI-Schichten zu verbessern (Graphitbeschichteter TaC-Suszeptor) und die Verlängerung der Lebensdauer wichtiger Reaktorkomponenten. Der Einsatz der Tantalcarbid-TaC-Beschichtung soll das Kantenproblem lösen und die Qualität des Kristallwachstums verbessern, und Semicera hat einen Durchbruch bei der Tantalcarbid-Beschichtungstechnologie (CVD) gelöst und damit das internationale Spitzenniveau erreicht.
Nach Jahren der Entwicklung hat Semicera die Technologie erobertCVD TaCmit den gemeinsamen Anstrengungen der Forschungs- und Entwicklungsabteilung. Während des Wachstumsprozesses von SiC-Wafern, aber auch nach der Verwendung, können leicht Defekte auftretenTaC, der Unterschied ist erheblich. Nachfolgend finden Sie einen Vergleich von Wafern mit und ohne TaC sowie Simicera-Teilen für die Einkristallzüchtung.
Zu den Hauptmerkmalen der mit Tantalkarbid beschichteten Grundträgerplatten gehören:
1. Hohe Temperaturstabilität: Tantalcarbid verfügt über eine ausgezeichnete Hochtemperaturstabilität, wodurch die beschichtete Grundstützplatte für den Stützbedarf in Arbeitsumgebungen mit hohen Temperaturen geeignet ist.
2. Korrosionsbeständigkeit: Die Tantalkarbidbeschichtung weist eine gute Korrosionsbeständigkeit auf, kann chemischer Korrosion und Oxidation widerstehen und die Lebensdauer der Basis verlängern.
3. Hohe Härte und Verschleißfestigkeit: Die hohe Härte der Tantalkarbidbeschichtung verleiht der Grundträgerplatte eine gute Verschleißfestigkeit, die für Situationen geeignet ist, die eine hohe Verschleißfestigkeit erfordern.
4. Chemische Stabilität: Tantalcarbid weist eine hohe Stabilität gegenüber einer Vielzahl chemischer Substanzen auf, wodurch die beschichtete Grundträgerplatte in einigen korrosiven Umgebungen eine gute Leistung erbringt.
mit und ohne TaC
Nach der Verwendung von TaC (rechts)
Darüber hinaus SemicerasTaC-beschichtete Produkteweisen im Vergleich zu eine längere Lebensdauer und eine höhere Hochtemperaturbeständigkeit aufSiC-Beschichtungen.Labormessungen haben gezeigt, dass unsereTaC-Beschichtungenkann über längere Zeiträume hinweg konstant Temperaturen von bis zu 2300 Grad Celsius erbringen. Nachfolgend finden Sie einige Beispiele unserer Muster:
