Mit Tantalkarbid beschichtete Graphitplatteist ein Graphitmaterial mit einer dünnen SchichtTantalkarbidauf der Oberfläche des Substrats. Die dünne Schicht aus Tantalcarbid wird normalerweise auf der Oberfläche des Graphitsubstrats durch Techniken wie physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) oder chemische Gasphasenabscheidung (CVD) gebildet. Diese Beschichtung verfügt über hervorragende Eigenschaften wie hohe Härte, hervorragende Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit und hohe Temperaturstabilität.
Semicera bietet spezielle Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungen für verschiedene Komponenten und Träger.Der führende Beschichtungsprozess von Semicera ermöglicht Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungen, eine hohe Reinheit, hohe Temperaturstabilität und hohe chemische Toleranz zu erreichen und so die Produktqualität von SIC/GAN-Kristallen und EPI-Schichten zu verbessern (Graphitbeschichteter TaC-Suszeptor) und die Verlängerung der Lebensdauer wichtiger Reaktorkomponenten. Der Einsatz der Tantalcarbid-TaC-Beschichtung soll das Kantenproblem lösen und die Qualität des Kristallwachstums verbessern, und Semicera hat einen Durchbruch bei der Tantalcarbid-Beschichtungstechnologie (CVD) gelöst und damit das internationale Spitzenniveau erreicht.
Nach Jahren der Entwicklung hat Semicera die Technologie erobertCVD TaCmit den gemeinsamen Anstrengungen der Forschungs- und Entwicklungsabteilung. Während des Wachstumsprozesses von SiC-Wafern, aber auch nach der Verwendung, können leicht Defekte auftretenTaC, der Unterschied ist erheblich. Nachfolgend finden Sie einen Vergleich von Wafern mit und ohne TaC sowie Simicera-Teilen für die Einkristallzüchtung.
Zu den Hauptvorteilen einer mit Tantalkarbid beschichteten Graphitplatte gehören:
1. Hohe Temperaturbeständigkeit: Tantalcarbid hat einen hohen Schmelzpunkt und eine ausgezeichnete Hochtemperaturstabilität, wodurch sich die beschichtete Graphitplatte für den Einsatz in Hochtemperaturumgebungen eignet.
2. Korrosionsbeständigkeit: Die Tantalkarbidbeschichtung kann der Erosion vieler chemisch korrosiver Substanzen widerstehen und die Lebensdauer des Materials verlängern.
3. Hohe Härte: Die hohe Härte der Tantalkarbid-Dünnschicht sorgt für eine gute Verschleißfestigkeit und eignet sich für Anwendungen, die eine hohe Verschleißfestigkeit erfordern.
4. Chemische Stabilität: Die Tantalkarbidbeschichtung weist eine ausgezeichnete Stabilität gegenüber chemischer Korrosion auf und ist für den Einsatz in einigen korrosiven Medien geeignet.
mit und ohne TaC
Nach der Verwendung von TaC (rechts)
Darüber hinaus SemicerasTaC-beschichtete Produkteweisen im Vergleich zu eine längere Lebensdauer und eine höhere Hochtemperaturbeständigkeit aufSiC-Beschichtungen.Labormessungen haben gezeigt, dass unsereTaC-Beschichtungenkann über längere Zeiträume hinweg konstant Temperaturen von bis zu 2300 Grad Celsius erbringen. Nachfolgend finden Sie einige Beispiele unserer Muster:
