TaC Coated Plate ist eine spezielle Scheibe, die für den Einsatz in SiC-Epitaxieprozessen entwickelt wurde und mit Präzision aus hochwertigem Graphitmaterial gefertigt wird. Seine Oberfläche ist sorgfältig mit Tantalcarbid (TaC) beschichtet, einer Verbindung, die für ihre außergewöhnliche Reinheit und Festigkeit bekannt ist. Die TaC-Beschichtung erhöht die Haltbarkeit und Beständigkeit der Platte gegenüber hohen Temperaturen und macht sie ideal für die anspruchsvollen Bedingungen von SiC-Epitaxieprozessen.
Diese innovative TaC-beschichtete Platte ist eine Spezialscheibe, die für den Einsatz in SiC-Epitaxieprozessen entwickelt wurde und mit Präzision aus hochwertigem Graphitmaterial gefertigt wird. Die TaC-beschichtete Plattenoberfläche ist sorgfältig mit Tantalcarbid (TaC) beschichtet, einer Verbindung, die für ihre außergewöhnliche Reinheit und Festigkeit bekannt ist. dient als zuverlässige Plattform für den Transport von Wafern in verschiedenen Phasen des epitaktischen SiC-Wachstums. Seine hochreine Graphitbasis sorgt für eine stabile und inerte Oberfläche, während die TaC-Beschichtung eine zusätzliche Schutzschicht gegen chemische Reaktionen und Verschleiß bietet.
SemicEpocheDie TaC-beschichtete Platte wird entsprechend den spezifischen Anforderungen der Kunden angepasst und gewährleistet optimale Leistung und Kompatibilität mit ihren SiC-Epitaxiesystemen. Ob Größe, Form oder andere Spezifikationen – diese Platten sind auf die individuellen Anforderungen jeder Anwendung zugeschnitten.
mit und ohne TaC
Nach der Verwendung von TaC (rechts)
Darüber hinaus SemicerasTaC-beschichtete Produkteweisen im Vergleich zu eine längere Lebensdauer und eine höhere Hochtemperaturbeständigkeit aufSiC-Beschichtungen.Labormessungen haben gezeigt, dass unsereTaC-Beschichtungenkann über längere Zeiträume hinweg konstant Temperaturen von bis zu 2300 Grad Celsius erbringen. Nachfolgend finden Sie einige Beispiele unserer Muster:
