TaC-beschichtete Graphit-Führungsringebeziehen sich auf die Ablagerung einer dünnen SchichtTantalkarbidauf der Oberfläche eines Graphit-Führungsrings, um dessen Verschleißfestigkeit, Hochtemperaturbeständigkeit und chemische Stabilität zu verbessern. Diese Beschichtung wird normalerweise auf der Oberfläche eines Graphitführungsrings durch Techniken wie physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) oder chemische Gasphasenabscheidung (CVD) gebildet.
Semicera bietet spezielle Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungen für verschiedene Komponenten und Träger.Der führende Beschichtungsprozess von Semicera ermöglicht Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungen, eine hohe Reinheit, hohe Temperaturstabilität und hohe chemische Toleranz zu erreichen und so die Produktqualität von SIC/GAN-Kristallen und EPI-Schichten zu verbessern (Graphitbeschichteter TaC-Suszeptor) und die Verlängerung der Lebensdauer wichtiger Reaktorkomponenten. Der Einsatz der Tantalcarbid-TaC-Beschichtung soll das Kantenproblem lösen und die Qualität des Kristallwachstums verbessern, und Semicera hat einen Durchbruch bei der Tantalcarbid-Beschichtungstechnologie (CVD) gelöst und damit das internationale Spitzenniveau erreicht.
Nach Jahren der Entwicklung hat Semicera die Technologie erobertCVD TaCmit den gemeinsamen Anstrengungen der Forschungs- und Entwicklungsabteilung. Während des Wachstumsprozesses von SiC-Wafern, aber auch nach der Verwendung, können leicht Defekte auftretenTaC, der Unterschied ist erheblich. Nachfolgend finden Sie einen Vergleich von Wafern mit und ohne TaC sowie Simicera-Teilen für die Einkristallzüchtung.
Zu den Hauptmerkmalen von TaC-beschichteten Graphit-Führungsringen gehören:
1. Hohe Temperaturbeständigkeit: Die TaC-Beschichtung weist eine ausgezeichnete Hochtemperaturstabilität auf und kann die Stabilität in Hochtemperaturumgebungen aufrechterhalten.
2. Verschleißfestigkeit: Die hohe Härte der Tantalkarbid-Dünnschicht verleiht dem Führungsring eine gute Verschleißfestigkeit und verlängert seine Lebensdauer.
3. Chemische Stabilität: Die TaC-Beschichtung weist eine hohe Stabilität gegen chemische Korrosion auf und eignet sich daher für Anwendungen in einigen korrosiven Medien.
4. Reibung reduzieren: Die TaC-Beschichtung kann die Reibung zwischen dem Graphitführungsring und anderen Komponenten wirksam reduzieren und die Effizienz von Gleitringdichtungen verbessern.
mit und ohne TaC
Nach der Verwendung von TaC (rechts)
Darüber hinaus SemicerasTaC-beschichtete Produkteweisen im Vergleich zu eine längere Lebensdauer und eine höhere Hochtemperaturbeständigkeit aufSiC-Beschichtungen.Labormessungen haben gezeigt, dass unsereTaC-Beschichtungenkann über längere Zeiträume hinweg konstant Temperaturen von bis zu 2300 Grad Celsius erbringen. Nachfolgend finden Sie einige Beispiele unserer Muster:
