Semicera bietet spezielle Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungen für verschiedene Komponenten und Träger.Der führende Beschichtungsprozess von Semicera ermöglicht Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungen, eine hohe Reinheit, hohe Temperaturstabilität und hohe chemische Toleranz zu erreichen und so die Produktqualität von SIC/GAN-Kristallen und EPI-Schichten zu verbessern (Graphitbeschichteter TaC-Suszeptor) und die Verlängerung der Lebensdauer wichtiger Reaktorkomponenten. Der Einsatz der Tantalcarbid-TaC-Beschichtung soll das Kantenproblem lösen und die Qualität des Kristallwachstums verbessern, und Semicera hat einen Durchbruch bei der Tantalcarbid-Beschichtungstechnologie (CVD) gelöst und damit das internationale Spitzenniveau erreicht.
Siliziumkarbid (SiC) ist ein Schlüsselmaterial in der dritten Generation von Halbleitern, seine Ausbeute war jedoch ein limitierender Faktor für das Branchenwachstum. Nach umfangreichen Tests in den Labors von Semicera wurde festgestellt, dass gesprühtes und gesintertes TaC nicht die erforderliche Reinheit und Gleichmäßigkeit aufweist. Im Gegensatz dazu gewährleistet das CVD-Verfahren einen Reinheitsgrad von 5 PPM und eine hervorragende Gleichmäßigkeit. Der Einsatz von CVD-TaC verbessert die Ausbeute von Siliziumkarbid-Wafern deutlich. Wir freuen uns über DiskussionenTaC-beschichtete Graphit-Dreisegmentringe um die Kosten für SiC-Wafer weiter zu senken.
Nach Jahren der Entwicklung hat Semicera die Technologie erobertCVD TaCmit den gemeinsamen Anstrengungen der Forschungs- und Entwicklungsabteilung. Während des Wachstumsprozesses von SiC-Wafern, aber auch nach der Verwendung, können leicht Defekte auftretenTaC, der Unterschied ist erheblich. Nachfolgend finden Sie einen Vergleich von Wafern mit und ohne TaC sowie Simicera-Teilen für die Einkristallzüchtung.
mit und ohne TaC
Nach der Verwendung von TaC (rechts)
Darüber hinaus SemicerasTaC-beschichtete Produkteweisen im Vergleich zu eine längere Lebensdauer und eine höhere Hochtemperaturbeständigkeit aufSiC-Beschichtungen.Labormessungen haben gezeigt, dass unsereTaC-Beschichtungenkann über längere Zeiträume hinweg konstant Temperaturen von bis zu 2300 Grad Celsius erbringen. Nachfolgend finden Sie einige Beispiele unserer Muster:
