TaC-beschichtete epitaktische Waferträgerwerden normalerweise bei der Herstellung von optoelektronischen Hochleistungsgeräten, Leistungsgeräten, Sensoren und anderen Bereichen verwendet. Dasepitaktischer Waferträgerbezieht sich auf die Ablagerung vonTaCDünnfilm auf dem Substrat während des Kristallwachstumsprozesses, um einen Wafer mit spezifischer Struktur und Leistung für die anschließende Gerätevorbereitung zu bilden.
Zur Herstellung wird üblicherweise die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) eingesetztTaC-beschichtete epitaktische Waferträger. Durch die Reaktion metallorganischer Vorläufer und Kohlenstoffquellengase bei hoher Temperatur kann ein TaC-Film auf der Oberfläche des Kristallsubstrats abgeschieden werden. Diese Folie kann hervorragende elektrische, optische und mechanische Eigenschaften aufweisen und eignet sich zur Herstellung verschiedener Hochleistungsgeräte.
Semicera bietet spezielle Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungen für verschiedene Komponenten und Träger.Der führende Beschichtungsprozess von Semicera ermöglicht Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungen, eine hohe Reinheit, hohe Temperaturstabilität und hohe chemische Toleranz zu erreichen und so die Produktqualität von SIC/GAN-Kristallen und EPI-Schichten zu verbessern (Graphitbeschichteter TaC-Suszeptor) und die Verlängerung der Lebensdauer wichtiger Reaktorkomponenten. Der Einsatz der Tantalcarbid-TaC-Beschichtung soll das Kantenproblem lösen und die Qualität des Kristallwachstums verbessern, und Semicera hat einen Durchbruch bei der Tantalcarbid-Beschichtungstechnologie (CVD) gelöst und damit das internationale Spitzenniveau erreicht.
Nach Jahren der Entwicklung hat Semicera die Technologie erobertCVD TaCmit den gemeinsamen Anstrengungen der Forschungs- und Entwicklungsabteilung. Während des Wachstumsprozesses von SiC-Wafern, aber auch nach der Verwendung, können leicht Defekte auftretenTaC, der Unterschied ist erheblich. Nachfolgend finden Sie einen Vergleich von Wafern mit und ohne TaC sowie Simicera-Teilen für die Einkristallzüchtung.
mit und ohne TaC
Nach der Verwendung von TaC (rechts)
Darüber hinaus SemicerasTaC-beschichtete Produkteweisen im Vergleich zu eine längere Lebensdauer und eine höhere Hochtemperaturbeständigkeit aufSiC-Beschichtungen.Labormessungen haben gezeigt, dass unsereTaC-Beschichtungenkann über längere Zeiträume hinweg konstant Temperaturen von bis zu 2300 Grad Celsius erbringen. Nachfolgend finden Sie einige Beispiele unserer Muster:
