Siliziumkarbid-Vakuumfutter

Kurzbeschreibung:

Das Siliziumkarbid-Vakuumfutter und der Wafer-Handhabungsarm werden durch isostatisches Pressen und Hochtemperatursintern hergestellt. Die Außenabmessungen, Dicken und Formen können gemäß den Konstruktionszeichnungen des Benutzers bearbeitet werden, um den spezifischen Anforderungen des Benutzers gerecht zu werden.


Produktdetails

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Vakuumspannfutter aus Siliziumkarbidist eine Schlüsselkomponente in der Halbleiterfertigung und in Präzisionsindustrieanwendungen zum Greifen, Handhaben und Positionieren dünner und zerbrechlicher Werkstücke wie zWaffeln, Glassubstrate und optische Komponenten. Mithilfe der Vakuumkraft wird ein Unterdruck erzeugt, der fest an der Oberfläche des Werkstücks haftet und sich bei Bedarf löst.Vakuumspannfutter aus Siliziumkarbidwerden häufig in der Halbleiterfertigung, bei Flachbildschirmen, in der optischen Fertigung und in anderen Bereichen der Präzisionsindustrie eingesetzt. Sie können für Operationen wie verwendet werdenWaferLaden und Übertragen, Substratausrichtung, Greifen und Handhaben von Glasplatten, Bereitstellung hochpräziser, stabiler und sicherer Werkstückhandhabungslösungen.

Die Eigenschaften von Siliziumkarbid-Vakuumspannfuttern sind wie folgt:

1. Hohe Temperaturbeständigkeit: Siliziumkarbid weist eine ausgezeichnete Hochtemperaturstabilität auf und kann lange Zeit ohne Beschädigung in einer Hochtemperaturumgebung betrieben werden, was für Prozesse geeignet ist, die eine Hochtemperaturverarbeitung erfordern.

2. Hohe Härte und Verschleißfestigkeit: Siliziumkarbid hat eine hohe Härte und kann Reibung und Verschleiß widerstehen, wodurch die Haltbarkeit und Lebensdauer des Spannfutters erhöht wird.

3. Ausgezeichnete chemische Inertheit: Siliziumkarbid weist eine hohe Beständigkeit gegenüber einer Vielzahl von Chemikalien und Lösungsmitteln auf und kann in chemischen Umgebungen stabil arbeiten.

4. Hochvakuumabdichtung: Vakuumsaugnäpfe aus Siliziumkarbid sorgen für eine zuverlässige Vakuumabdichtung und sorgen so für eine stabile Adsorptionskraft und ein sicheres Greifen der Werkstücke.

Wir sind in der Lage, nach Ihren spezifischen Abmessungen mit guter Qualität und angemessener Lieferzeit zu entwerfen und zu fertigen.

 
Bild 1

Vorteile

Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen

Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit

Gute Abriebfestigkeit

Hoher Wärmeleitkoeffizient

Selbstschmierfähigkeit, geringe Dichte

Hohe Härte

Individuelles Design.

Anwendungen

-Verschleißfestes Feld: Buchse, Platte, Sandstrahldüse, Zyklonauskleidung, Schleiftrommel usw.

-Hochtemperaturfeld: SiC-Platte, Abschreckofenrohr, Strahlungsrohr, Tiegel, Heizelement, Walze, Strahl, Wärmetauscher, Kaltluftrohr, Brennerdüse, Thermoelement-Schutzrohr, SiC-Boot, Ofenwagenstruktur, Setter usw.

-Militärisches kugelsicheres Feld

-Siliziumkarbid-Halbleiter: SiC-Wafer-Boot, Sic-Chuck, Sic-Paddel, Sic-Kassette, Sic-Diffusionsrohr, Wafer-Gabel, Saugplatte, Führung usw.

-Siliziumkarbid-Dichtungsbereich: alle Arten von Dichtungsringen, Lagern, Buchsen usw.

-Photovoltaikfeld: Auslegerpaddel, Schleiftrommel, Siliziumkarbidwalze usw.

-Lithium-Batteriefeld

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CNN-Verarbeitung, chemische Reinigung, CVD-Beschichtung
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