Graphit-Suszeptor mit Siliziumkarbid-Beschichtung, 8-Zoll-Wafer-Träger

Kurzbeschreibung:

Der Graphit-Suszeptor von Semicera mit Siliziumkarbid-Beschichtung für 8-Zoll-Wafer-Träger ist für die Hochleistungs-Halbleiterverarbeitung konzipiert und bietet hervorragende Wärmeleitfähigkeit, chemische Beständigkeit und Haltbarkeit. Die Siliziumkarbidbeschichtung gewährleistet einen hervorragenden Schutz vor Oxidation und Verschleiß und verlängert so die Lebensdauer des Suszeptors. Der Suszeptor von Semicera eignet sich ideal für MOCVD, CVD und andere Hochtemperaturanwendungen und bietet zuverlässige Leistung, was ihn zur perfekten Lösung für die effiziente Waferhandhabung und -verarbeitung in der Halbleiter- und LED-Herstellung macht.


Produktdetails

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Beschreibung

CVD-SiC-BeschichtungHat die Eigenschaften einer gleichmäßigen Struktur, eines kompakten Materials, einer hohen Temperaturbeständigkeit, Oxidationsbeständigkeit, einer hohen Reinheit, einer Säure- und Alkalibeständigkeit und eines organischen Reagenzes mit stabilen physikalischen und chemischen Eigenschaften.
 
Im Vergleich zu hochreinen Graphitmaterialien beginnt Graphit bei 400 °C zu oxidieren, was zu einem Pulververlust durch Oxidation führt, was zu einer Umweltverschmutzung von Peripheriegeräten und Vakuumkammern führt und die Verunreinigungen der hochreinen Umgebung erhöht.
Jedoch,SiC-Beschichtungkann die physikalische und chemische Stabilität bei 1600 Grad aufrechterhalten. Es wird häufig in der modernen Industrie, insbesondere in der Halbleiterindustrie, eingesetzt.

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Hauptmerkmale

1. Hochreiner SiC-beschichteter Graphit

2. Überlegene Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit

3. GutSiC-kristallbeschichtetfür eine glatte Oberfläche

4. Hohe Beständigkeit gegen chemische Reinigung

 

Hauptspezifikationen von CVD-SIC-Beschichtungen:

SiC-CVD
Dichte (g/cc) 3.21
Biegefestigkeit (MPa) 470
Wärmeausdehnung (10-6/K) 4
Wärmeleitfähigkeit (W/mK) 300

Verpackung und Versand

Lieferfähigkeit:
10000 Stück/Stücke pro Monat
Verpackung & Lieferung:
Verpackung: Standard- und starke Verpackung
Polybeutel + Karton + Karton + Palette
Hafen:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Vorlaufzeit:

Menge (Stück) 1 – 1000 >1000
Schätzung: Zeit (Tage) 30 Zu verhandeln
Semicera Arbeitsplatz
Semicera Arbeitsplatz 2
Ausrüstungsmaschine
CNN-Verarbeitung, chemische Reinigung, CVD-Beschichtung
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