SemicerasSiC-Paddelsind auf minimale Wärmeausdehnung ausgelegt und sorgen für Stabilität und Präzision bei Prozessen, bei denen Maßhaltigkeit von entscheidender Bedeutung ist. Dies macht sie ideal für Anwendungen, bei denenWaffelnwerden wiederholten Heiz- und Kühlzyklen unterzogen, da das Waferboot seine strukturelle Integrität beibehält und eine gleichbleibende Leistung gewährleistet.
Einbindung von SemiceraSiliziumkarbid-Diffusionspaddelin Ihre Produktionslinie erhöhen dank ihrer überlegenen thermischen und chemischen Eigenschaften die Zuverlässigkeit Ihres Prozesses. Diese Paddel eignen sich perfekt für Diffusions-, Oxidations- und Glühprozesse und stellen sicher, dass die Wafer bei jedem Schritt sorgfältig und präzise gehandhabt werden.
Innovation steht bei Semicera im MittelpunktSiC-PaddelDesign. Diese Paddel sind so zugeschnitten, dass sie nahtlos in bestehende Halbleitergeräte passen und eine verbesserte Handhabungseffizienz bieten. Die leichte Struktur und das ergonomische Design verbessern nicht nur den Wafertransport, sondern reduzieren auch Betriebsausfallzeiten, was zu einer optimierten Produktion führt.
| Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid | |
| Eigentum | Typischer Wert |
| Arbeitstemperatur (°C) | 1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung) |
| SiC-Gehalt | > 99,96 % |
| Kostenlose Si-Inhalte | < 0,1 % |
| Schüttdichte | 2,60–2,70 g/cm3 |
| Scheinbare Porosität | < 16 % |
| Kompressionsstärke | > 600 MPa |
| Kaltbiegefestigkeit | 80-90 MPa (20°C) |
| Warmbiegefestigkeit | 90–100 MPa (1400 °C) |
| Wärmeausdehnung bei 1500 °C | 4,70 10-6/°C |
| Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C | 23 W/m·K |
| Elastizitätsmodul | 240 GPa |
| Thermoschockbeständigkeit | Extrem gut |
