Geräte zum Laser-Mikrostrahlschneiden (LMJ) können in der Halbleiterindustrie eingesetzt werden

Kurzbeschreibung:

Die Laser-Mikrojet-Technologie (LMJ) ist ein Laserbearbeitungsverfahren, das Laser mit einem „haardünnen“ Wasserstrahl kombiniert und den Laserstrahl durch die Puls-Totalreflexion im Mikro-Wasserstrahl gewissermaßen präzise zur Bearbeitungsposition führt ähnlich wie bei herkömmlichen Glasfasern. Der Wasserstrahl kühlt den Schneidbereich kontinuierlich und entfernt effektiv Bearbeitungsrückstände.


Produktdetails

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Vorteile der LMJ-Verarbeitung

Die inhärenten Mängel der regulären Laserbearbeitung können durch den intelligenten Einsatz der Laser-Mikrostrahltechnologie (LMJ) zur Übertragung der optischen Eigenschaften von Wasser und Luft überwunden werden. Diese Technologie ermöglicht es den Laserimpulsen, die vollständig im verarbeiteten hochreinen Wasserstrahl reflektiert werden, und ungestört die Bearbeitungsoberfläche wie bei einer optischen Faser zu erreichen.

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Die Hauptmerkmale der LMJ-Technologie sind:

1. Der Laserstrahl ist eine säulenförmige (parallele) Struktur.

2. Der Laserimpuls wird wie eine optische Faser im Wasserstrahl übertragen, ohne dass es zu Umwelteinflüssen kommt.

3. Der Laserstrahl wird in der LMJ-Ausrüstung fokussiert und die Höhe der bearbeiteten Oberfläche ändert sich während des gesamten Bearbeitungsprozesses nicht, so dass bei der Änderung der Bearbeitungstiefe während der Bearbeitung keine weitere Fokussierung erforderlich ist.

4. Reinigen Sie die Oberfläche kontinuierlich.

Mikrostrahl-Laserschneidtechnologie (1)

5. Zusätzlich zur Abtragung des Werkstückmaterials durch jeden Laserpuls befindet sich das bearbeitete Material jede einzelne Zeiteinheit vom Beginn jedes Pulses bis zum nächsten Puls etwa 99 % der Zeit im Echtzeit-Kühlwasserzustand , wodurch die Wärmeeinflusszone und die Umschmelzschicht nahezu eliminiert werden, die hohe Effizienz der Verarbeitung jedoch erhalten bleibt.

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Allgemeine Spezifikation

LCSA-100

LCSA-200

Arbeitsplattenvolumen

125 x 200 x 100

460×460×300

Linearachse XY

Linearmotor. Linearmotor

Linearmotor. Linearmotor

Linearachse Z

100

300

Positioniergenauigkeit μm

+ / - 5

+ / - 3

Wiederholte Positionierungsgenauigkeit μm

+ / - 2

+ / - 1

Beschleunigung G

0,5

1

Numerische Steuerung

3-Achsen

3-Achsen

Laser

 

 

Lasertyp

DPSS Nd: YAG

DPSS Nd: YAG, Puls

Wellenlänge nm

532/1064

532/1064

Nennleistung W

50/100/200

200/400

Wasserstrahl

 

 

Düsendurchmesser μm

25-80

25-80

Düsendruckbalken

100-600

0-600

Größe/Gewicht

 

 

Abmessungen (Maschine) (B x L x H)

1050 x 800 x 1870

1200 x 1200 x 2000

Abmessungen (Schaltschrank) (B x L x H)

700 x 2300 x 1600

700 x 2300 x 1600

Gewicht (Ausstattung) kg

1170

2500-3000

Gewicht (Schaltschrank) kg

700-750

700-750

Umfassender Energieverbrauch

 

 

IEingabe

AC 230 V +6 %/ -10 %, unidirektional 50/60 Hz ±1 %

AC 400 V +6 %/-10 %, 3-phasig 50/60 Hz ±1 %

Spitzenwert

2,5 kVA

2,5 kVA

Join

10 m Stromkabel: P+N+E, 1,5 mm2

10 m Stromkabel: P+N+E, 1,5 mm2

Anwendungsbereich für Anwender in der Halbleiterindustrie

≤4 Zoll runder Barren

≤4 Zoll Barrenscheiben

≤4 Zoll Barrenritzen

 

≤6 Zoll runder Barren

≤6-Zoll-Barrenscheiben

≤6 Zoll Barrenritzen

Die Maschine erfüllt den theoretischen Wert von 8 Zoll Rundschreiben/Schneiden/Schneiden, und die spezifischen praktischen Ergebnisse müssen optimiert werden

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Mikrostrahl-Laserschneidtechnologie (1)
Mikrostrahl-Laserschneidtechnologie (2)

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