Hochwertige Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung

Kurzbeschreibung:

Die TaC-Beschichtung von Semicera bietet eine außergewöhnliche Hochtemperaturstabilität, die SiC übertrifft und bis zu 2300 °C standhält. Es ist ideal für die Luft- und Raumfahrt sowie das Wachstum von Halbleiter-Einkristallen der dritten Generation und bietet Korrosions-, Oxidations- und Verschleißfestigkeit. Wählen Sie Semicera für erstklassige Fabrikfertigung und Qualität.

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Semicera bietet spezielle Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungen für verschiedene Komponenten und Träger.Der führende Beschichtungsprozess von Semicera ermöglicht Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungen, eine hohe Reinheit, hohe Temperaturstabilität und hohe chemische Toleranz zu erreichen und so die Produktqualität von SIC/GAN-Kristallen und EPI-Schichten zu verbessern (Graphitbeschichteter TaC-Suszeptor) und die Verlängerung der Lebensdauer wichtiger Reaktorkomponenten. Der Einsatz der Tantalcarbid-TaC-Beschichtung soll das Kantenproblem lösen und die Qualität des Kristallwachstums verbessern, und Semicera hat einen Durchbruch bei der Tantalcarbid-Beschichtungstechnologie (CVD) gelöst und damit das internationale Spitzenniveau erreicht.

Nach Jahren der Entwicklung hat Semicera die Technologie erobertCVD TaCmit den gemeinsamen Anstrengungen der Forschungs- und Entwicklungsabteilung. Während des Wachstumsprozesses von SiC-Wafern, aber auch nach der Verwendung, können leicht Defekte auftretenTaC, der Unterschied ist erheblich. Nachfolgend finden Sie einen Vergleich von Wafern mit und ohne TaC sowie von Semicera-Teilen für die Einkristallzüchtung

TaC-beschichtetes Teil für das Wachstum eines Einkristalls

Anti-Verschleiß-Tantalkarbid-Beschichtung_ Schützt Geräte vor Verschleiß und Korrosion. Bild im Bild

TaC-beschichteter Graphitring

mit und ohne TaC

Nach der Verwendung von TaC (rechts)

Darüber hinaus ist die Lebensdauer der TaC-Beschichtungsprodukte von Semicera länger und widerstandsfähiger gegenüber hohen Temperaturen als die der SiC-Beschichtung. Nach langen Labormessdaten kann unser TaC lange Zeit bei maximal 2300 Grad Celsius arbeiten. Im Folgenden finden Sie einige unserer Beispiele: