Semicera präsentiert hochwertige MaßanfertigungenCantilever-Paddel aus SiliziumkarbidEntwickelt, um Halbleiterfertigungsprozesse zu verbessern. Das InnovativeSiC-PaddelDas Design gewährleistet außergewöhnliche Haltbarkeit und hohe thermische Beständigkeit und macht es zu einer wesentlichen Komponente für die Waferhandhabung in anspruchsvollen Hochtemperaturumgebungen.
DerPaddel aus Siliziumkarbidist so konstruiert, dass es extremen thermischen Zyklen standhält und gleichzeitig die strukturelle Integrität beibehält, um einen zuverlässigen Wafertransport in kritischen Phasen der Halbleiterproduktion zu gewährleisten. Mit überlegener mechanischer FestigkeitWaffelbootminimiert das Risiko einer Beschädigung der Wafer und führt zu höheren Erträgen und einer gleichbleibenden Produktionsqualität.
Eine der wichtigsten Innovationen des SiC-Paddels von Semicera liegt in seinen individuellen Designoptionen. Das Paddel ist auf spezifische Produktionsanforderungen zugeschnitten und bietet Flexibilität bei der Integration in verschiedene Gerätekonfigurationen, was es zu einer idealen Lösung für moderne Fertigungsprozesse macht. Die leichte und dennoch robuste Konstruktion ermöglicht eine einfache Handhabung, reduziert Betriebsausfallzeiten und trägt so zu einer verbesserten Effizienz in der Halbleiterproduktion bei.
Zusätzlich zu seinen thermischen und mechanischen Eigenschaften ist dasPaddel aus Siliziumkarbidbietet eine hervorragende chemische Beständigkeit, sodass es auch in rauen chemischen Umgebungen zuverlässig funktioniert. Dadurch eignet es sich besonders für den Einsatz in Prozessen mit Ätz-, Abscheidungs- und Hochtemperaturbehandlungsprozessen, bei denen die Aufrechterhaltung der Integrität des Waferboots für die Gewährleistung hochwertiger Ergebnisse von entscheidender Bedeutung ist.
Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid | |
Eigentum | Typischer Wert |
Arbeitstemperatur (°C) | 1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung) |
SiC-Gehalt | > 99,96 % |
Kostenlose Si-Inhalte | < 0,1 % |
Schüttdichte | 2,60–2,70 g/cm3 |
Scheinbare Porosität | < 16 % |
Kompressionsstärke | > 600 MPa |
Kaltbiegefestigkeit | 80-90 MPa (20°C) |
Warmbiegefestigkeit | 90–100 MPa (1400 °C) |
Wärmeausdehnung bei 1500 °C | 4,70 10-6/°C |
Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C | 23 W/m·K |
Elastizitätsmodul | 240 GPa |
Thermoschockbeständigkeit | Extrem gut |