Hochreines Quarzkristallboot kann individuell angepasst werden

Kurze Beschreibung:

Im Herstellungsprozess von Halbleiter-ICs ist es häufig erforderlich, ein Werkzeug für den Transfer, die Reinigung und die Verarbeitung des Chips zu verwenden. Das Werkzeug, das den Chip trägt, wird im Allgemeinen als Waferboot bezeichnet, das mit einer Reihe von Waferschlitzen versehen ist, und zwar für jeden Waferschlitz dient zum Platzieren eines Wafers.Im Herstellungsprozess von Halbleiterwafern ist der Diffusionsprozess des Ofenrohrs einer der Grundprozesse.Beim Diffusionsprozess werden zunächst mehrere Wafer auf einem Quarzkristallschiffchen platziert und dann wird das Quarzkristallschiffchen zur Serienfertigung in das Ofenrohr gelegt.


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Vorteile von Quarz sind wie folgt:

1, hohe Temperaturbeständigkeit.Die Erweichungstemperatur von Quarzglas liegt bei etwa 1730 °C und kann über einen längeren Zeitraum bei 1150 °C verwendet werden, und die maximale Temperatur kann für kurze Zeit 1450 °C erreichen.

2, Korrosionsbeständigkeit.Neben Flusssäure reagiert hochreiner Quarz fast nicht mit anderen sauren Substanzen. Bei hohen Temperaturen kann er Schwefelsäure, Salpetersäure, Salzsäure, Aquamarinsäure, Neutralsalzen sowie Kohlenstoff- und Schwefelerosion widerstehen.Seine Säurebeständigkeit ist 30-mal höher als die von Keramik, 150-mal höher als die von Edelstahl, insbesondere seine chemische Stabilität bei hohen Temperaturen, die von keinem anderen technischen Material erreicht wird.

3, gute thermische Stabilität.Der Wärmeausdehnungskoeffizient von hochreinem Quarz ist sehr klein, kann starken Temperaturschwankungen standhalten, der hochreine Quarz wird auf etwa 1100 °C erhitzt und zerplatzt nicht in Wasser mit normaler Temperatur.

4, gute Lichtdurchlässigkeit.Hochreiner Quarz hat eine gute Lichtdurchlässigkeit im gesamten Spektralband von Ultraviolett bis Infrarot, eine Durchlässigkeit für sichtbares Licht von mehr als 93 %, insbesondere im ultravioletten Spektralbereich, ~ eine große Lichtdurchlässigkeit von mehr als 80 %.

5, gute elektrische Isolationsleistung.Der Widerstandswert von hochreinem Quarz entspricht dem 10.000-fachen des Widerstandswerts von gewöhnlichem Quarzglas, das ein hervorragendes elektrisches Isoliermaterial ist und auch bei hohen Temperaturen gute elektrische Eigenschaften aufweist.

Ferrotec 精密石英

Um den Kundenbedürfnissen gerecht zu werden, kann Semicera Energy eine Vielzahl von Quarzprodukten herstellen und sich dabei auf die drei technischen Kernvorteile Präzisionsverarbeitungstechnologie, Schweißtechnologie, Oberflächenbehandlungstechnologie (Reinigungstechnologie) und die Unterstützung eines professionellen technischen Teams mit globaler Vision und Maßanfertigung verlassen -Herstellung hochwertiger Produkte für Kunden.

 

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