Zu den Halbleitermaterialien der dritten Generation gehören hauptsächlich SiC, GaN, Diamant usw., da ihre Bandlückenbreite (Eg) größer oder gleich 2,3 Elektronenvolt (eV) ist, was auch als Halbleitermaterialien mit großer Bandlücke bekannt ist. Im Vergleich zu den Halbleitermaterialien der ersten und zweiten Generation weisen die Halbleitermaterialien der dritten Generation die Vorteile einer hohen Wärmeleitfähigkeit, eines hohen elektrischen Durchbruchfelds, einer hohen Sättigungselektronenmigrationsrate und einer hohen Bindungsenergie auf, wodurch die neuen Anforderungen der modernen elektronischen Technologie an hohe Anforderungen erfüllt werden können Temperatur, hohe Leistung, hoher Druck, hohe Frequenz und Strahlungsbeständigkeit sowie andere raue Bedingungen. Es hat wichtige Anwendungsaussichten in den Bereichen Landesverteidigung, Luftfahrt, Luft- und Raumfahrt, Ölexploration, optische Speicherung usw. und kann den Energieverlust in vielen strategischen Branchen wie Breitbandkommunikation, Solarenergie, Automobilherstellung usw. um mehr als 50 % reduzieren. Halbleiterbeleuchtung und intelligente Netze und können das Gerätevolumen um mehr als 75 % reduzieren, was für die Entwicklung der menschlichen Wissenschaft und Technologie von entscheidender Bedeutung ist.
Artikelbeschreibung | GaN-FS-CU-C50 | GaN-FS-CN-C50 | GaN-FS-C-SI-C50 |
Durchmesser | 50,8 ± 1 mm | ||
Dicke厚度 | 350 ± 25 μm | ||
Orientierung | C-Ebene (0001) Abweichungswinkel zur M-Achse 0,35 ± 0,15° | ||
Erstklassige Wohnung | (1-100) 0 ± 0,5°, 16 ± 1 mm | ||
Zweitwohnung | (11-20) 0 ± 3°, 8 ± 1 mm | ||
Leitfähigkeit | N-Typ | N-Typ | Halbisolierend |
Widerstand (300 K) | < 0,1 Ω·cm | < 0,05 Ω·cm | > 106 Ω·cm |
TTV | ≤ 15 μm | ||
BOGEN | ≤ 20 μm | ||
Ga-Oberflächenrauheit | < 0,2 nm (poliert); | ||
oder < 0,3 nm (poliert und Oberflächenbehandlung für Epitaxie) | |||
N Oberflächenrauheit | 0,5 ~ 1,5 μm | ||
Option: 1~3 nm (fein geschliffen); < 0,2 nm (poliert) | |||
Versetzungsdichte | Von 1 x 105 bis 3 x 106 cm-2 (berechnet nach CL)* | ||
Makrofehlerdichte | < 2 cm-2 | ||
Nutzfläche | > 90 % (Ausschluss von Kanten- und Makrofehlern) | ||
Kann je nach Kundenwunsch angepasst werden, unterschiedliche Struktur von Silizium-, Saphir- und SiC-basierten GaN-Epitaxieplatten. |