Keramische Komponenten für hochreine Siliziumnitrid-Halbleiter

Kurzbeschreibung:

Siliziumnitrid weist eine bessere Temperaturwechselbeständigkeit auf als andere Keramiken. In Kombination mit hoher Festigkeit, geringer Wärmeausdehnung, guter Korrosionsbeständigkeit und Bruchzähigkeit wird Siliziumnitrid häufig in der Luft- und Raumfahrt- oder Automobilindustrie eingesetzt. Andere Anwendungen wie Brennerdüsen, Verarbeitung von geschmolzenem Metall usw. Elektrische Isolierung, gute Korrosionsbeständigkeit, mittlere Betriebstemperatur (1300 °C), Strukturkeramik, gute mechanische Eigenschaften, geringe Wärmeausdehnung, hohe Wärmeleitfähigkeit, sehr gute Thermoschockstabilität, niedriger spezifischer Wert Schwerkraft.

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Siliziumnitrid ist eine graue Keramik mit hoher Bruchzähigkeit, ausgezeichneter Hitzeschockbeständigkeit und relativ undurchdringlichen Eigenschaften für geschmolzene Metalle.

Unter Verwendung dieser Eigenschaften wird es auf Teile von Verbrennungsmotoren wie Automotorenteile, Blasrohrdüsen von Schweißmaschinen usw. angewendet, insbesondere auf Teile, die in rauen Umgebungen wie Überhitzung eingesetzt werden müssen.

Aufgrund seiner hohen Verschleißfestigkeit und hohen mechanischen Festigkeit werden seine Anwendungen in Lagerrollenteilen, rotierenden Wellenlagern und Ersatzteilen für Halbleiterproduktionsanlagen ständig erweitert.

Eigenschaften von Siliziumnitridkeramiken

1, hat eine hohe Festigkeit in einem großen Temperaturbereich;

2, hohe Bruchzähigkeit;

3, gute Biegefestigkeit;

4, Beständigkeit gegen mechanische Ermüdung und Kriechen;

5, leicht – niedrige Dichte;

6, hohe Härte und Verschleißfestigkeit;

7, ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit;

8, geringe Wärmeausdehnung;

9, elektrischer Isolator;

10, gute Oxidationsbeständigkeit;

11, gute chemische Korrosionsbeständigkeit.

Siliziumnitridkeramiken haben einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und eine hohe Wärmeleitfähigkeit, sodass sie eine ausgezeichnete Hitzeschockbeständigkeit aufweisen. Das heißgepresste gesinterte Siliziumnitrid bricht nicht, nachdem es auf 1000 °C erhitzt und in kaltes Wasser gelegt wurde. Bei nicht zu hohen Temperaturen weist Siliziumnitrid eine hohe Festigkeit und Schlagfestigkeit auf, bei Temperaturen über 1200 °C wird es jedoch mit zunehmender Nutzungsdauer beschädigt, so dass seine Festigkeit abnimmt und es bei Temperaturen über 1450 °C anfälliger für Ermüdungsschäden ist Die Temperatur von Si3N4 überschreitet im Allgemeinen nicht 1300℃.