Der Siliziumkarbid-Waferhalter kann nicht nur für RTP-Träger, LED-Epitaxialsuszeptoren und Zylindersuszeptoren verwendet werden, sondern unterstützt auch eine stabile Belastung im Herstellungsprozess von monokristallinem Silizium. Dieses Produkt eignet sich auch gut für Pancake-Suszeptoren und Photovoltaikteile und eignet sich besonders für den Einsatz im Prozess der GaN-auf-SiC-Epitaxie, wodurch die Produktionseffizienz effektiv verbessert und Defekte reduziert werden.
Der Siliziumkarbid-Waferhalter von Semicera verwendet hochwertige Siliziumkarbidmaterialien, die nicht nur eine ausgezeichnete Hochtemperaturbeständigkeit aufweisen, sondern auch in korrosiven Umgebungen stabil bleiben können. Ob beim ICP Etching Carrier oder anderen komplexen Epitaxie- und Ätzprozessen, dieses Produkt kann eine stabile Waferbeladung gewährleisten, Stress reduzieren und die Fertigungsqualität optimieren.
Der Siliziumkarbid-Waferhalter von Semicera ist für komplexe Epitaxie- und Ätzprozesse konzipiert. Aufgrund seiner hervorragenden Leistung und hohen Haltbarkeit hat es sich zur idealen Wahl in der Halbleiterfertigung entwickelt. Ob Si-Epitaxie oder SiC-Epitaxie: Semicera ist bestrebt, seinen Kunden erstklassige Produkte und Dienstleistungen anzubieten.
Hervorragende Hitze- und Korrosionsbeständigkeit, vielseitig einsetzbare Halbleiterfertigungsausrüstung
