Siliziumkarbid-Wafer-Schleifscheibe, Ras0,2um

Kurzbeschreibung:

Der Wärmeausdehnungskoeffizient der Siliziumkarbid-Schleifscheibe ist klein, hat eine hohe Festigkeit, eine hohe Härte, eine lange Lebensdauer, niedrige Kosten und der Wärmeausdehnungskoeffizient ist im Wesentlichen der gleiche wie bei einem Siliziumwafer. Die Verwendung einer Siliziumkarbid-Schleifscheibe kann die hohen Anforderungen des Schleifens erfüllen und Polieren verbessern die Schleifqualität und -effizienz.Wird hauptsächlich beim Polieren von Siliziumsubstraten für große integrierte Schaltkreise und in der Photovoltaikindustrie verwendet.


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Schleifen von Siliziumkarbid-Wafern9

Schleifscheiben sind eine wichtige Prozessausrüstung für die Herstellung von Siliziumwafern für ultragroße integrierte Schaltkreise in der Halbleiterindustrie. Normalerweise werden Schleifscheiben aus Gusseisen oder Kohlenstoffstahl verwendet, die eine geringe Lebensdauer und einen großen Wärmeausdehnungskoeffizienten haben. Bei der Bearbeitung von Siliziumwafern, insbesondere beim Hochgeschwindigkeitsschleifen oder -polieren, ist es aufgrund des Verschleißes und der thermischen Verformung der Schleifscheibe schwierig, die Ebenheit und Parallelität von Siliziumwafern sicherzustellen.

Die Schleifscheibe aus Siliziumkarbidkeramik kann aufgrund der hohen Härte und des geringen Verschleißes der Schleifscheibe mit hoher Geschwindigkeit geschliffen und poliert werden, und der Wärmeausdehnungskoeffizient ist grundsätzlich der gleiche wie der des Siliziumwafers. Insbesondere in den letzten Jahren werden Siliziumwafer immer größer, was höhere Anforderungen an die Qualität und Effizienz des Siliziumwaferschleifens stellt.

Schleifen von Siliziumkarbid-Wafern7
Schleifen von Siliziumkarbid-Wafern8

Die Verwendung einer Siliziumkarbid-Keramik-Schleifscheibe wird die Qualität und Effizienz des Silizium-Wafer-Schleifens erheblich verbessern. Gleichzeitig kann die Siliziumkarbid-Keramik-Schleifscheibe auch zum Schleifen und Polieren der Oberfläche anderer Materialien wie Flocken- oder Blockobjekte verwendet werden. Mit der Entwicklung der Industrialisierung, insbesondere der Umsetzung der internationalen Norm ISO14000, wurden höhere Anforderungen an den Transport von Flüssigkeiten gestellt, die dem Umweltschutz nicht förderlich sind.

Eine der wichtigsten Eigenschaften von Siliziumkarbidkeramik ist ihre Hochtemperaturfestigkeit, d. h. die Festigkeit nimmt bei 1600 Grad grundsätzlich nicht ab und die Oxidationsbeständigkeit ist sehr gut, sodass sie in Hochtemperatur-Strukturteilen verwendet werden kann. Wie die obere Platte des Hochtemperaturofens, die Halterung und die Hochtemperatur-Experimentiervorrichtungen.

Vergleich von SIC-Keramikmaterialien
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SemiceraEnergy Technology Co., Ltd ist ein professionelles Unternehmen für Forschung, Entwicklung, Produktion und Vertrieb von Siliziumkarbid-Keramikprodukten.Seit seiner Gründung im Jahr 2016SemiceraEnergy beherrscht das isostatische Pressformverfahren, das Tausendpressformverfahren, das Injektionsformverfahren und das Vakuumextrusionsformverfahren. Unser Unternehmen nutzt 6 Produktionslinien für die Sinterung von Siliziumkarbidkeramik, verfügt über 8 CNC- und 6 Präzisionsschleifmaschinen und kann Ihnen auch gesinterte Produkte aus Siliziumkarbidkeramik liefern, aber auch Verarbeitungsdienstleistungen für Siliziumkarbidkeramik, Aluminiumoxidkeramik, Aluminiumnitridkeramik und Zirkonoxidkeramik anbieten .

Qualitätskontrolle
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