Graphit-Suszeptor mit Siliziumkarbid-Beschichtung, Trommelschale

Graphit-Suszeptor mit Siliziumkarbid-Beschichtung. Fassschale. Abgebildetes Bild

Kurzbeschreibung:

Semicera bietet ein umfassendes Sortiment an Suszeptoren und Graphitkomponenten für verschiedene Epitaxiereaktoren.

Durch strategische Partnerschaften mit branchenführenden OEMs, umfassende Materialkompetenz und fortschrittliche Fertigungskapazitäten liefert Semicera maßgeschneiderte Designs, um die spezifischen Anforderungen Ihrer Anwendung zu erfüllen. Unser Streben nach Exzellenz stellt sicher, dass Sie optimale Lösungen für Ihre Anforderungen an Epitaxiereaktoren erhalten.

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Produktdetails

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Beschreibung

Unser Unternehmen bietet SiC-Beschichtungsverfahren mittels CVD-Methode auf der Oberfläche von Graphit, Keramik und anderen Materialien an, sodass spezielle Gase, die Kohlenstoff und Silizium enthalten, bei hoher Temperatur reagieren, um hochreine SiC-Moleküle zu erhalten, die sich auf der Oberfläche der beschichteten Materialien ablagern. Bildung einer SIC-Schutzschicht.

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Hauptmerkmale

1. Hochreiner SiC-beschichteter Graphit

2. Überlegene Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit

3. Feine SiC-Kristallbeschichtung für eine glatte Oberfläche

4. Hohe Beständigkeit gegen chemische Reinigung

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC-β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickershärte	2500
Körnung	μm	2~10
Chemische Reinheit	%	99,99995
Wärmekapazität	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegekraft	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)	430
Wärmeausdehnung (CTE)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300