Die SemiceraSiC-Cantilever-Wafer-Paddelist auf die Anforderungen der modernen Halbleiterfertigung ausgelegt. DasWaffelpaddelbietet eine hervorragende mechanische Festigkeit und thermische Beständigkeit, was für die Handhabung von Wafern in Umgebungen mit hohen Temperaturen von entscheidender Bedeutung ist.
Das SiC-Cantilever-Design ermöglicht eine präzise Platzierung der Wafer und verringert so das Risiko einer Beschädigung während der Handhabung. Seine hohe Wärmeleitfähigkeit sorgt dafür, dass der Wafer auch unter extremen Bedingungen stabil bleibt, was für die Aufrechterhaltung der Produktionseffizienz von entscheidender Bedeutung ist.
Zusätzlich zu seinen strukturellen Vorteilen bietet SemiceraSiC-Cantilever-Wafer-Paddelbietet zudem Vorteile bei Gewicht und Haltbarkeit. Die leichte Bauweise erleichtert die Handhabung und Integration in bestehende Systeme, während das hochdichte SiC-Material eine lange Haltbarkeit unter anspruchsvollen Bedingungen gewährleistet.
| Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid | |
| Eigentum | Typischer Wert |
| Arbeitstemperatur (°C) | 1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung) |
| SiC-Gehalt | > 99,96 % |
| Kostenlose Si-Inhalte | < 0,1 % |
| Schüttdichte | 2,60–2,70 g/cm3 |
| Scheinbare Porosität | < 16 % |
| Kompressionsstärke | > 600 MPa |
| Kaltbiegefestigkeit | 80-90 MPa (20°C) |
| Warmbiegefestigkeit | 90–100 MPa (1400 °C) |
| Wärmeausdehnung bei 1500 °C | 4,70 10-6/°C |
| Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C | 23 W/m·K |
| Elastizitätsmodul | 240 GPa |
| Thermoschockbeständigkeit | Extrem gut |
