Semicerastellt vorHalbleiterkassette, ein wesentliches Werkzeug für die sichere und effiziente Handhabung von Wafern während des gesamten Halbleiterherstellungsprozesses. Diese mit hoher Präzision gefertigte Kassette sorgt dafür, dass Ihre Wafer sicher gelagert und transportiert werden und ihre Integrität in jeder Phase erhalten bleibt.
Überlegener Schutz und HaltbarkeitDerHalbleiterkassettevon Semicera ist darauf ausgelegt, Ihren Wafern maximalen Schutz zu bieten. Es besteht aus robusten, kontaminationsresistenten Materialien und schützt Ihre Wafer vor möglichen Schäden und Verunreinigungen, was es zur idealen Wahl für Reinraumumgebungen macht. Das Design der Kassette minimiert die Partikelbildung und stellt sicher, dass die Wafer während der Handhabung und des Transports unberührt und sicher bleiben.
Verbessertes Design für optimale LeistungSemicerasHalbleiterkassetteverfügt über ein sorgfältig konstruiertes Design, das eine präzise Ausrichtung der Wafer ermöglicht und so das Risiko einer Fehlausrichtung und mechanischen Beschädigung verringert. Die Schlitze der Kassette sind perfekt verteilt, um jeden Wafer sicher zu halten und Bewegungen zu verhindern, die zu Kratzern oder anderen Mängeln führen könnten.
Vielseitigkeit und KompatibilitätDerHalbleiterkassetteist vielseitig und mit verschiedenen Wafergrößen kompatibel, wodurch es für verschiedene Phasen der Halbleiterfertigung geeignet ist. Unabhängig davon, ob Sie mit Standard- oder benutzerdefinierten Waferabmessungen arbeiten, passt sich diese Kassette an Ihre Bedürfnisse an und bietet Flexibilität in Ihren Herstellungsprozessen.
Optimierte Handhabung und EffizienzEntwickelt mit Blick auf den BenutzerSemicera Halbleiterkassetteist leicht und einfach zu handhaben und ermöglicht ein schnelles und effizientes Be- und Entladen. Dieses ergonomische Design spart nicht nur Zeit, sondern verringert auch das Risiko menschlicher Fehler und sorgt so für einen reibungslosen Betrieb in Ihrer Einrichtung.
Einhaltung von IndustriestandardsSemicera sorgt dafür, dass dieHalbleiterkassetteerfüllt die höchsten Industriestandards für Qualität und Zuverlässigkeit. Jede Kassette wird strengen Tests unterzogen, um sicherzustellen, dass sie unter den anspruchsvollen Bedingungen der Halbleiterfertigung konstant funktioniert. Dieses Engagement für Qualität stellt sicher, dass Ihre Wafer stets geschützt sind und die in der Branche geforderten hohen Standards eingehalten werden.
Artikel | Produktion | Forschung | Dummy |
Kristallparameter | |||
Polytypie | 4H | ||
Fehler bei der Oberflächenausrichtung | <11-20 >4±0,15° | ||
Elektrische Parameter | |||
Dotierstoff | Stickstoff vom n-Typ | ||
Widerstand | 0,015–0,025 Ohm·cm | ||
Mechanische Parameter | |||
Durchmesser | 150,0 ± 0,2 mm | ||
Dicke | 350 ± 25 μm | ||
Primäre flache Ausrichtung | [1-100]±5° | ||
Primäre flache Länge | 47,5 ± 1,5 mm | ||
Zweitwohnung | Keiner | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
Bogen | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Kette | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Rauheit der Vorderseite (Si-Fläche) (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Struktur | |||
Mikrorohrdichte | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Metallverunreinigungen | ≤5E10Atome/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Vordere Qualität | |||
Front | Si | ||
Oberflächenbeschaffenheit | Si-Face-CMP | ||
Partikel | ≤60 Stück pro Wafer (Größe ≥ 0,3 μm) | NA | |
Kratzer | ≤5ea/mm. Kumulierte Länge ≤Durchmesser | Kumulierte Länge ≤ 2 * Durchmesser | NA |
Orangenschale/Kerne/Flecken/Streifen/Risse/Verunreinigung | Keiner | NA | |
Kantensplitter/Einkerbungen/Bruch/Sechskantplatten | Keiner | ||
Polytypiebereiche | Keiner | Kumulierte Fläche ≤ 20 % | Kumulierte Fläche ≤ 30 % |
Lasermarkierung vorne | Keiner | ||
Zurück Qualität | |||
Hinterer Abschluss | C-Gesichts-CMP | ||
Kratzer | ≤5ea/mm, Gesamtlänge≤2*Durchmesser | NA | |
Mängel an der Rückseite (Kantenabsplitterungen/Einkerbungen) | Keiner | ||
Rückenrauheit | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Lasermarkierung auf der Rückseite | 1 mm (ab Oberkante) | ||
Rand | |||
Rand | Fase | ||
Verpackung | |||
Verpackung | Epi-ready mit Vakuumverpackung Verpackung für Multi-Wafer-Kassetten | ||
*Hinweise: „NA“ bedeutet keine Anfrage. Nicht erwähnte Artikel beziehen sich möglicherweise auf SEMI-STD. |