Semicera stellt hochwertige Halbleiter vorCantilever-Paddel aus Siliziumkarbid, entwickelt, um den hohen Anforderungen der modernen Halbleiterfertigung gerecht zu werden.
DerSiliziumkarbid-Paddelverfügt über ein fortschrittliches Design, das die Wärmeausdehnung und Verformung minimiert und es so unter extremen Bedingungen äußerst zuverlässig macht. Seine robuste Konstruktion bietet eine längere Haltbarkeit und verringert das Risiko von Bruch oder Verschleiß, was für die Aufrechterhaltung hoher Erträge und einer gleichbleibenden Produktionsqualität von entscheidender Bedeutung ist. DerWaffelbootDas Design lässt sich außerdem nahtlos in Standard-Halbleiterverarbeitungsgeräte integrieren und gewährleistet so Kompatibilität und Benutzerfreundlichkeit.
Eines der herausragenden Merkmale des SemiceraSiC-Paddelist seine chemische Beständigkeit, die ihm eine außerordentlich gute Leistung in Umgebungen ermöglicht, die korrosiven Gasen und Chemikalien ausgesetzt sind. Der Fokus von Semicera auf Individualisierung ermöglicht maßgeschneiderte Lösungen.
| Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid | |
| Eigentum | Typischer Wert |
| Arbeitstemperatur (°C) | 1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung) |
| SiC-Gehalt | > 99,96 % |
| Kostenlose Si-Inhalte | < 0,1 % |
| Schüttdichte | 2,60–2,70 g/cm3 |
| Scheinbare Porosität | < 16 % |
| Kompressionsstärke | > 600 MPa |
| Kaltbiegefestigkeit | 80-90 MPa (20°C) |
| Warmbiegefestigkeit | 90–100 MPa (1400 °C) |
| Wärmeausdehnung bei 1500 °C | 4,70 10-6/°C |
| Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C | 23 W/m·K |
| Elastizitätsmodul | 240 GPa |
| Thermoschockbeständigkeit | Extrem gut |
