Bulk-CVD-SiC-Ring

Kurzbeschreibung:

Bulk-CVD-SiC-Ringe nutzen Silicium-Quellgas (z. B. Siliciumhydrid) und Kohlenstoff-Quellgas (z. B. Methan) als Rohmaterialien und reagieren bei hoher Temperatur, um großformatige SiC-Materialien auf einem Substrat oder einer Form abzuscheiden. Durch diesen Prozess kann SiC gleichmäßig über eine große Fläche abgeschieden werden und eine starke und konsistente Ringstruktur bilden.

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Warum ist ein Ätzring aus Siliziumkarbid?

RTPCVD-SiC-Ringewerden häufig in industriellen und wissenschaftlichen Bereichen in Umgebungen mit hohen Temperaturen und Korrosion eingesetzt. Es spielt eine wichtige Rolle in der Halbleiterfertigung, der Optoelektronik, im Präzisionsmaschinenbau und in der chemischen Industrie. Spezifische Anwendungen umfassen:

1. Halbleiterfertigung:RTP-CVD-SiC-Ringekann zum Heizen und Kühlen von Halbleitergeräten verwendet werden, sorgt für eine stabile Temperaturkontrolle und gewährleistet die Genauigkeit und Konsistenz des Prozesses.

2. Optoelektronik: Aufgrund seiner hervorragenden Wärmeleitfähigkeit und hohen Temperaturbeständigkeit ist RTPCVD-SiC-Ringekönnen als Träger- und Wärmeableitungsmaterialien für Laser, faseroptische Kommunikationsgeräte und optische Komponenten verwendet werden.

3. Präzisionsmaschinen: RTP-CVD-SiC-Ringe können für Präzisionsinstrumente und -geräte in Hochtemperatur- und korrosiven Umgebungen wie Hochtemperaturöfen, Vakuumgeräten und chemischen Reaktoren verwendet werden.

4. Chemische Industrie: Aufgrund ihrer Korrosionsbeständigkeit und chemischen Stabilität können RTP-CVD-SiC-Ringe in Behältern, Rohren und Reaktoren bei chemischen Reaktionen und katalytischen Prozessen eingesetzt werden.

Epi-System

RTP-System

CVD-System

Produktleistung:

1. Erfüllen Sie den Prozess unterhalb von 28 nm

2. Super Korrosionsbeständigkeit

3. Super saubere Leistung

4. Superhärte

5. Hohe Dichte

6. Hohe Temperaturbeständigkeit

7. Verschleißfestigkeit

Produktanwendung:

Siliziumkarbidmaterialien zeichnen sich durch hohe Härte, Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit und hohe Temperaturstabilität aus. Produkte mit hervorragender Gesamtleistung werden häufig in Trockenätz- und TF/Diffusionsprozessen eingesetzt.