Die doppelseitig polierten 4-Zoll-SiC-Wafersubstrate mit hoher Reinheit und Halbisolierung (HPSI) von Semicera sind so gefertigt, dass sie den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht werden. Diese Substrate zeichnen sich durch außergewöhnliche Ebenheit und Reinheit aus und bieten eine optimale Plattform für hochmoderne elektronische Geräte.
Diese HPSI-SiC-Wafer zeichnen sich durch ihre hervorragende Wärmeleitfähigkeit und elektrischen Isolationseigenschaften aus, was sie zu einer hervorragenden Wahl für Hochfrequenz- und Hochleistungsanwendungen macht. Der doppelseitige Polierprozess gewährleistet eine minimale Oberflächenrauheit, die für die Verbesserung der Geräteleistung und Langlebigkeit von entscheidender Bedeutung ist.
Die hohe Reinheit der SiC-Wafer von Semicera minimiert Defekte und Verunreinigungen und führt zu höheren Ausbeuten und Gerätezuverlässigkeit. Diese Substrate eignen sich für eine Vielzahl von Anwendungen, darunter Mikrowellengeräte, Leistungselektronik und LED-Technologien, bei denen es auf Präzision und Haltbarkeit ankommt.
Mit einem Fokus auf Innovation und Qualität nutzt Semicera fortschrittliche Fertigungstechniken, um Wafer herzustellen, die den strengen Anforderungen moderner Elektronik entsprechen. Das beidseitige Polieren verbessert nicht nur die mechanische Festigkeit, sondern ermöglicht auch eine bessere Integration mit anderen Halbleitermaterialien.
Durch die Wahl der 4-Zoll-hochreinen, halbisolierenden HPSI-SiC-Wafersubstrate mit beidseitiger Polierung von Semicera können Hersteller die Vorteile eines verbesserten Wärmemanagements und der elektrischen Isolierung nutzen und so den Weg für die Entwicklung effizienterer und leistungsfähigerer elektronischer Geräte ebnen. Semicera ist mit seinem Engagement für Qualität und technologischem Fortschritt weiterhin führend in der Branche.
Artikel | Produktion | Forschung | Dummy |
Kristallparameter | |||
Polytypie | 4H | ||
Fehler bei der Oberflächenausrichtung | <11-20 >4±0,15° | ||
Elektrische Parameter | |||
Dotierstoff | Stickstoff vom n-Typ | ||
Widerstand | 0,015–0,025 Ohm·cm | ||
Mechanische Parameter | |||
Durchmesser | 150,0 ± 0,2 mm | ||
Dicke | 350 ± 25 μm | ||
Primäre flache Ausrichtung | [1-100]±5° | ||
Primäre flache Länge | 47,5 ± 1,5 mm | ||
Zweitwohnung | Keiner | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
Bogen | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Kette | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Rauheit der Vorderseite (Si-Fläche) (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Struktur | |||
Mikrorohrdichte | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Metallverunreinigungen | ≤5E10Atome/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Vordere Qualität | |||
Front | Si | ||
Oberflächenbeschaffenheit | Si-Face-CMP | ||
Partikel | ≤60 Stück pro Wafer (Größe ≥ 0,3 μm) | NA | |
Kratzer | ≤5ea/mm. Kumulierte Länge ≤Durchmesser | Kumulierte Länge ≤ 2 * Durchmesser | NA |
Orangenschale/Kerne/Flecken/Streifen/Risse/Verunreinigung | Keiner | NA | |
Kantensplitter/Einkerbungen/Bruch/Sechskantplatten | Keiner | ||
Polytypiebereiche | Keiner | Kumulierte Fläche ≤ 20 % | Kumulierte Fläche ≤ 30 % |
Lasermarkierung vorne | Keiner | ||
Zurück Qualität | |||
Hinterer Abschluss | C-Gesichts-CMP | ||
Kratzer | ≤5ea/mm, Gesamtlänge≤2*Durchmesser | NA | |
Mängel an der Rückseite (Kantenabsplitterungen/Einkerbungen) | Keiner | ||
Rückenrauheit | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Lasermarkierung auf der Rückseite | 1 mm (ab Oberkante) | ||
Rand | |||
Rand | Fase | ||
Verpackung | |||
Verpackung | Epi-ready mit Vakuumverpackung Verpackung für Multi-Wafer-Kassetten | ||
*Hinweise: „NA“ bedeutet keine Anfrage. Nicht erwähnte Artikel beziehen sich möglicherweise auf SEMI-STD. |