4 Zoll hochreines halbisolierendes HPSI SiC doppelseitig poliertes Wafer-Substrat

Kurzbeschreibung:

Die doppelseitig polierten 4-Zoll-SiC-Wafersubstrate mit hoher Reinheit und Halbisolierung (HPSI) von Semicera sind präzisionsgefertigt und sorgen für eine überragende elektronische Leistung. Diese Wafer bieten eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit und elektrische Isolierung und sind ideal für fortschrittliche Halbleiteranwendungen. Vertrauen Sie Semicera für beispiellose Qualität und Innovation in der Wafertechnologie.


Produktdetails

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Die doppelseitig polierten 4-Zoll-SiC-Wafersubstrate mit hoher Reinheit und Halbisolierung (HPSI) von Semicera sind so gefertigt, dass sie den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht werden. Diese Substrate zeichnen sich durch außergewöhnliche Ebenheit und Reinheit aus und bieten eine optimale Plattform für hochmoderne elektronische Geräte.

Diese HPSI-SiC-Wafer zeichnen sich durch ihre hervorragende Wärmeleitfähigkeit und elektrischen Isolationseigenschaften aus, was sie zu einer hervorragenden Wahl für Hochfrequenz- und Hochleistungsanwendungen macht. Der doppelseitige Polierprozess gewährleistet eine minimale Oberflächenrauheit, die für die Verbesserung der Geräteleistung und Langlebigkeit von entscheidender Bedeutung ist.

Die hohe Reinheit der SiC-Wafer von Semicera minimiert Defekte und Verunreinigungen und führt zu höheren Ausbeuten und Gerätezuverlässigkeit. Diese Substrate eignen sich für eine Vielzahl von Anwendungen, darunter Mikrowellengeräte, Leistungselektronik und LED-Technologien, bei denen es auf Präzision und Haltbarkeit ankommt.

Mit einem Fokus auf Innovation und Qualität nutzt Semicera fortschrittliche Fertigungstechniken, um Wafer herzustellen, die den strengen Anforderungen moderner Elektronik entsprechen. Das beidseitige Polieren verbessert nicht nur die mechanische Festigkeit, sondern ermöglicht auch eine bessere Integration mit anderen Halbleitermaterialien.

Durch die Wahl der 4-Zoll-hochreinen, halbisolierenden HPSI-SiC-Wafersubstrate mit beidseitiger Polierung von Semicera können Hersteller die Vorteile eines verbesserten Wärmemanagements und der elektrischen Isolierung nutzen und so den Weg für die Entwicklung effizienterer und leistungsfähigerer elektronischer Geräte ebnen. Semicera ist mit seinem Engagement für Qualität und technologischem Fortschritt weiterhin führend in der Branche.

Artikel

Produktion

Forschung

Dummy

Kristallparameter

Polytypie

4H

Fehler bei der Oberflächenausrichtung

<11-20 >4±0,15°

Elektrische Parameter

Dotierstoff

Stickstoff vom n-Typ

Widerstand

0,015–0,025 Ohm·cm

Mechanische Parameter

Durchmesser

150,0 ± 0,2 mm

Dicke

350 ± 25 μm

Primäre flache Ausrichtung

[1-100]±5°

Primäre flache Länge

47,5 ± 1,5 mm

Zweitwohnung

Keiner

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5 mm * 5 mm)

≤5 μm (5 mm * 5 mm)

≤10 μm (5 mm * 5 mm)

Bogen

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Kette

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Rauheit der Vorderseite (Si-Fläche) (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Struktur

Mikrorohrdichte

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Metallverunreinigungen

≤5E10Atome/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Vordere Qualität

Front

Si

Oberflächenbeschaffenheit

Si-Face-CMP

Partikel

≤60 Stück pro Wafer (Größe ≥ 0,3 μm)

NA

Kratzer

≤5ea/mm. Kumulierte Länge ≤Durchmesser

Kumulierte Länge ≤ 2 * Durchmesser

NA

Orangenschale/Kerne/Flecken/Streifen/Risse/Verunreinigung

Keiner

NA

Kantensplitter/Einkerbungen/Bruch/Sechskantplatten

Keiner

Polytypiebereiche

Keiner

Kumulierte Fläche ≤ 20 %

Kumulierte Fläche ≤ 30 %

Lasermarkierung vorne

Keiner

Zurück Qualität

Hinterer Abschluss

C-Gesichts-CMP

Kratzer

≤5ea/mm, Gesamtlänge≤2*Durchmesser

NA

Mängel an der Rückseite (Kantenabsplitterungen/Einkerbungen)

Keiner

Rückenrauheit

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Lasermarkierung auf der Rückseite

1 mm (ab Oberkante)

Rand

Rand

Fase

Verpackung

Verpackung

Epi-ready mit Vakuumverpackung

Verpackung für Multi-Wafer-Kassetten

*Hinweise: „NA“ bedeutet keine Anfrage. Nicht erwähnte Artikel beziehen sich möglicherweise auf SEMI-STD.

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SiC-Wafer

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