3C-SiC-Wafersubstrat

Kurzbeschreibung:

Semicera 3C-SiC-Wafersubstrate bieten eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit und eine hohe elektrische Durchbruchspannung, ideal für Leistungselektronik- und Hochfrequenzgeräte. Diese Substrate sind präzisionsgefertigt für optimale Leistung in rauen Umgebungen und gewährleisten Zuverlässigkeit und Effizienz. Wählen Sie Semicera für innovative und fortschrittliche Lösungen.


Produktdetails

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Die 3C-SiC-Wafersubstrate von Semicera wurden entwickelt, um eine robuste Plattform für Leistungselektronik und Hochfrequenzgeräte der nächsten Generation zu bieten. Mit hervorragenden thermischen und elektrischen Eigenschaften sind diese Substrate so konzipiert, dass sie den anspruchsvollen Anforderungen moderner Technologie gerecht werden.

Die 3C-SiC-Struktur (kubisches Siliziumkarbid) der Semicera-Wafersubstrate bietet einzigartige Vorteile, darunter eine höhere Wärmeleitfähigkeit und einen niedrigeren Wärmeausdehnungskoeffizienten im Vergleich zu anderen Halbleitermaterialien. Dies macht sie zu einer hervorragenden Wahl für Geräte, die unter extremen Temperaturen und hohen Leistungsbedingungen betrieben werden.

Mit einer hohen elektrischen Durchbruchspannung und überlegener chemischer Stabilität gewährleisten Semicera 3C-SiC-Wafersubstrate lang anhaltende Leistung und Zuverlässigkeit. Diese Eigenschaften sind entscheidend für Anwendungen wie Hochfrequenzradar, Halbleiterbeleuchtung und Wechselrichter, bei denen Effizienz und Haltbarkeit von größter Bedeutung sind.

Semiceras Engagement für Qualität spiegelt sich im sorgfältigen Herstellungsprozess seiner 3C-SiC-Wafersubstrate wider, der Gleichmäßigkeit und Konsistenz bei jeder Charge gewährleistet. Diese Präzision trägt zur Gesamtleistung und Langlebigkeit der darauf aufgebauten elektronischen Geräte bei.

Durch die Wahl von Semicera 3C-SiC Wafer-Substraten erhalten Hersteller Zugang zu einem hochmodernen Material, das die Entwicklung kleinerer, schnellerer und effizienterer elektronischer Komponenten ermöglicht. Semicera unterstützt weiterhin technologische Innovationen durch die Bereitstellung zuverlässiger Lösungen, die den sich verändernden Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht werden.

Artikel

Produktion

Forschung

Dummy

Kristallparameter

Polytypie

4H

Fehler bei der Oberflächenausrichtung

<11-20 >4±0,15°

Elektrische Parameter

Dotierstoff

Stickstoff vom n-Typ

Widerstand

0,015–0,025 Ohm·cm

Mechanische Parameter

Durchmesser

150,0 ± 0,2 mm

Dicke

350 ± 25 μm

Primäre flache Ausrichtung

[1-100]±5°

Primäre flache Länge

47,5 ± 1,5 mm

Zweitwohnung

Keiner

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5 mm * 5 mm)

≤5 μm (5 mm * 5 mm)

≤10 μm (5 mm * 5 mm)

Bogen

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Kette

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Rauheit der Vorderseite (Si-Fläche) (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Struktur

Mikrorohrdichte

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Metallverunreinigungen

≤5E10Atome/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Vordere Qualität

Front

Si

Oberflächenbeschaffenheit

Si-Face-CMP

Partikel

≤60 Stück pro Wafer (Größe ≥ 0,3 μm)

NA

Kratzer

≤5ea/mm. Kumulierte Länge ≤Durchmesser

Kumulierte Länge ≤ 2 * Durchmesser

NA

Orangenschale/Kerne/Flecken/Streifen/Risse/Verunreinigung

Keiner

NA

Kantensplitter/Einkerbungen/Bruch/Sechskantplatten

Keiner

Polytypiebereiche

Keiner

Kumulierte Fläche ≤ 20 %

Kumulierte Fläche ≤ 30 %

Lasermarkierung vorne

Keiner

Zurück Qualität

Hinterer Abschluss

C-Gesichts-CMP

Kratzer

≤5ea/mm, Gesamtlänge≤2*Durchmesser

NA

Mängel an der Rückseite (Kantenabsplitterungen/Einkerbungen)

Keiner

Rückenrauheit

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Lasermarkierung auf der Rückseite

1 mm (ab Oberkante)

Rand

Rand

Fase

Verpackung

Verpackung

Epi-ready mit Vakuumverpackung

Verpackung für Multi-Wafer-Kassetten

*Hinweise: „NA“ bedeutet keine Anfrage. Nicht erwähnte Artikel beziehen sich möglicherweise auf SEMI-STD.

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SiC-Wafer

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