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Halbleiterprozesse und -ausrüstung (3/7) – Heizprozess und -ausrüstung
1. Überblick Erhitzen, auch thermische Verarbeitung genannt, bezieht sich auf Herstellungsverfahren, die bei hohen Temperaturen ablaufen, die normalerweise über dem Schmelzpunkt von Aluminium liegen. Der Erhitzungsprozess wird normalerweise in einem Hochtemperaturofen durchgeführt und umfasst wichtige Prozesse wie Oxidation,...Mehr lesen -
Halbleitertechnologie und -ausrüstung (2/7) – Wafervorbereitung und -verarbeitung
Wafer sind die Hauptrohstoffe für die Herstellung integrierter Schaltkreise, diskreter Halbleiterbauelemente und Leistungsbauelemente. Mehr als 90 % der integrierten Schaltkreise werden auf hochreinen und hochwertigen Wafern hergestellt. Unter Wafervorbereitungsgeräten versteht man den Prozess der Herstellung von reinem polykristallinem Silizium ...Mehr lesen -
Was ist ein RTP-Wafer-Carrier?
Seine Rolle in der Halbleiterfertigung verstehen Erforschung der wesentlichen Rolle von RTP-Waferträgern in der fortgeschrittenen Halbleiterverarbeitung In der Welt der Halbleiterfertigung sind Präzision und Kontrolle von entscheidender Bedeutung für die Herstellung hochwertiger Geräte, die moderne Elektronik antreiben. Einer der...Mehr lesen -
Was ist ein Epi-Träger?
Erforschung seiner entscheidenden Rolle bei der epitaktischen Waferverarbeitung. Verständnis der Bedeutung von Epi-Trägern in der modernen Halbleiterfertigung. In der Halbleiterindustrie ist die Produktion hochwertiger epitaktischer (Epi-)Wafer ein entscheidender Schritt bei der Herstellung von Geräten ...Mehr lesen -
Halbleiterprozesse und -ausrüstung (1/7) – Herstellungsprozess integrierter Schaltkreise
1.Über integrierte Schaltkreise 1.1 Das Konzept und die Geburt integrierter Schaltkreise Integrierter Schaltkreis (IC): bezieht sich auf ein Gerät, das aktive Geräte wie Transistoren und Dioden mit passiven Komponenten wie Widerständen und Kondensatoren durch eine Reihe spezifischer Verarbeitungstechnologien kombiniert...Mehr lesen -
Was ist ein Epi-Pan-Träger?
Die Halbleiterindustrie ist auf hochspezialisierte Ausrüstung angewiesen, um hochwertige elektronische Geräte herzustellen. Eine dieser kritischen Komponenten im epitaktischen Wachstumsprozess ist der Epi-Pfannenträger. Diese Ausrüstung spielt eine zentrale Rolle bei der Abscheidung epitaktischer Schichten auf Halbleiterwafern und sorgt so für ...Mehr lesen -
Was ist ein MOCVD-Suszeptor?
Das MOCVD-Verfahren ist eines der stabilsten Verfahren, das derzeit in der Industrie zum Züchten hochwertiger einkristalliner Dünnfilme wie einphasiger InGaN-Epischichten, III-N-Materialien und Halbleiterfilmen mit Multi-Quantentopf-Strukturen verwendet wird, und ist von großem Nutzen ...Mehr lesen -
Was ist eine SiC-Beschichtung?
Was ist eine Siliziumkarbid-SiC-Beschichtung? Die Siliziumkarbid-Beschichtung (SiC) ist eine revolutionäre Technologie, die außergewöhnlichen Schutz und Leistung in Hochtemperatur- und chemisch reaktiven Umgebungen bietet. Diese fortschrittliche Beschichtung wird auf verschiedene Materialien aufgetragen, darunter...Mehr lesen -
Was ist ein MOCVD-Waferträger?
Im Bereich der Halbleiterfertigung entwickelt sich die MOCVD-Technologie (Metal Organic Chemical Vapour Deposition) schnell zu einem Schlüsselprozess, wobei der MOCVD-Waferträger eine seiner Kernkomponenten ist. Die Fortschritte beim MOCVD Wafer Carrier spiegeln sich nicht nur im Herstellungsprozess wider, sondern ...Mehr lesen -
Was ist Tantalcarbid?
Tantalcarbid (TaC) ist eine binäre Verbindung aus Tantal und Kohlenstoff mit der chemischen Formel TaC x, wobei x normalerweise zwischen 0,4 und 1 variiert. Es handelt sich um extrem harte, spröde, feuerfeste Keramikmaterialien mit metallischer Leitfähigkeit. Es handelt sich um braungraue Pulver und sind für uns...Mehr lesen -
Was ist Tantalkarbid?
Tantalcarbid (TaC) ist ein Ultrahochtemperatur-Keramikmaterial mit hoher Temperaturbeständigkeit, hoher Dichte und hoher Kompaktheit; hohe Reinheit, Verunreinigungsgehalt <5PPM; und chemische Inertheit gegenüber Ammoniak und Wasserstoff bei hohen Temperaturen sowie gute thermische Stabilität. Die sogenannte Ultrahoch...Mehr lesen -
Was ist Epitaxie?
Die meisten Ingenieure sind mit der Epitaxie nicht vertraut, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen eine wichtige Rolle spielt. Epitaxie kann in verschiedenen Chipprodukten verwendet werden, und verschiedene Produkte verfügen über unterschiedliche Arten der Epitaxie, einschließlich Si-Epitaxie, SiC-Epitaxie, GaN-Epitaxie usw. Was ist Epitaxie? Epitaxie i...Mehr lesen