Der Trockenätzprozess besteht normalerweise aus vier Grundzuständen: vor dem Ätzen, teilweises Ätzen, reines Ätzen und Überätzen. Die Hauptmerkmale sind Ätzrate, Selektivität, kritische Dimension, Gleichmäßigkeit und Endpunkterkennung. Abbildung 1 Vor dem Ätzen Abbildung 2 Teilweises Ätzen Abbildung...
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