Siliziumkarbidbeschichtetes Graphitwerkzeug für die Epitaxie

Kurzbeschreibung:

Semicera bietet ein umfassendes Sortiment an Suszeptoren und Graphitkomponenten für verschiedene Epitaxiereaktoren.

Durch strategische Partnerschaften mit branchenführenden OEMs, umfassende Materialexpertise und fortschrittliche Fertigungstechnologien liefert Semicera maßgeschneiderte Lösungen, die exakt auf die Anforderungen Ihrer Anwendung zugeschnitten sind. Unser Streben nach Exzellenz garantiert Ihnen optimale Lösungen für Ihre Epitaxiereaktor-Anforderungen.

 

 


Produktdetails

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Beschreibung

Unser Unternehmen bietet SiC-Beschichtungsverfahren mittels CVD-Verfahren auf der Oberfläche von Graphit, Keramik und anderen Materialien an. Dabei reagieren spezielle, kohlenstoff- und siliziumhaltige Gase bei hoher Temperatur, um hochreine SiC-Moleküle zu gewinnen. Diese Moleküle lagern sich auf der Oberfläche der beschichteten Materialien ab und bilden eine schützende SiC-Schicht.

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Hauptmerkmale

1. Hochreines SiC-beschichtetes Graphit

2. Hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit

3. Feine SiC-Kristallbeschichtung für eine glatte Oberfläche

4. Hohe Beständigkeit gegenüber chemischer Reinigung

Hauptspezifikationen der CVD-SiC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur FCC β-Phase
Dichte g/cm³ 3.21
Härte Vickers-Härte 2500
Körnung μm 2–10
Chemische Reinheit % 99,99995
Wärmekapazität J·kg-1 ·K-1 640
Sublimationstemperatur 2700
Felexurale Stärke MPa (RT 4-Punkt) 415
Elastizitätsmodul Gpa (4pt Biegung, 1300℃) 430
Wärmeausdehnung (CTE) 10-6K-1 4,5
Wärmeleitfähigkeit (W/mK) 300
Semicera Arbeitsplatz
Semicera Arbeitsplatz 2
Ausrüstungsmaschine
CNN-Verfahren, chemische Reinigung, CVD-Beschichtung
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