Einführung des Waferträgers
PRODUKTKATEGORIE
▶Waferträgersystem für PECVD- und TALOX-Prozesse
• PECVD & TALOX Graphitboot (M4~M12)
• Vertikales SM-Boot (M4, M6)
• Implantat- und Dusch-Graphitteil (M4~M6)
• C/C-Tray & Keramikbeschichtung
• Metall-RIE-Schale & Keramikbeschichtung
• Vakuumversiegelung: O-Ring & Quadratring
▶Texturierungs- und Nassätzverfahren
• LSC H-Träger oder Kassette (M4~M12)
• LSC V-Träger oder Kassette (M4~M12)
• ASC-Träger oder -Kassette (M4, M6)
• W/F Träger- und Aufbewahrungsbox (M4~M12)
• Transportradserie (Rolle)
▶Solarzellenträger & Metallträger
• TRC-Träger oder -Kassette (M4~M12)
• Magazin (mit Gürtel)
GRAPHITBOOT (H-Typ)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAPHITBOOT (H-Typ)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAPHITBOOT (H-Typ)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
GRAPHITBOOT (H-Typ)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
GRAPHITBOOT (H-Typ)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF-Träger- und Aufbewahrungsbox (~M12)
C/C-Tray oder Träger (M4~M10)
C/C-Tray oder Träger (M4~M10)
Vertikalboot (SM) M6
LSC-H-Träger (~M12)
LSC-V-Träger (~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC-Träger (~M12)
TRC-Träger (~M12)
GRAPHIT-BOOT (M12)
Waferträgersystem für den PECVD-Prozess
▶ Graphitboot (CT-Design) M10/M12-Verfahren
• SPEZIELLES DESIGNKONZEPT
▶ Graphitboot (CT-Design) M4/M6-Verfahren
▶ Bootszubehörteile
▶ VERTIKALES BOOT-161,7 mm WAFER
▶ VERTIKALES BOOT-166mm WAFER
▶ VERTICAL BOAT-161,7 mm, 166 mm WAFER
Solarzellenträger & Metall-TRC-Träger
TYP: Automatisierung
WAFERGRÖSSE: ① 156 × 156 mm ② 156,75 × 156,75 mm
③ 161,7 x 161,7 mm ④ 166 x 166 mm
⑤ 180×180 mm ⑥ 210×210 mm
VERWENDUNG: Tragen (Kassette)
KAPAZITÄT: 100 Blatt
Teilung: 4,76 mm / 5,953 mm / 6,35 mm
ABMESSUNGEN: ca. 559 × 220 × 220 mm
Ca. 712 × 260 × 260 mm
VORTEIL: Atmosphäre
MATERIAL: FLAMME, SEITENLEISTE - Aluminium (eloxiert)
SEITENPLATTE-POM (Antistatisch)
Abdeckung der unteren Leiste - EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METALLTRÄGER (U'SER-LINIE)
TRC-METALLTRÄGER (U'SER-LINIE)
TRC-METALLTRÄGER (U'SER-LINIE)
Duschplatte & Implantat, Träger
