Tantalcarbidbeschichteter Ring

Kurzbeschreibung:

Tantalcarbid-Beschichtungen sind eine fortschrittliche Oberflächenbeschichtungstechnologie, bei der Tantalcarbid eine harte, verschleißfeste und korrosionsbeständige Schutzschicht auf der Oberfläche des Substrats bildet. Diese Beschichtung zeichnet sich durch hervorragende Eigenschaften aus, die die Härte, die Hochtemperaturbeständigkeit und die Chemikalienbeständigkeit des Materials deutlich erhöhen und gleichzeitig Reibung und Verschleiß reduzieren. Tantalcarbid-Beschichtungen finden breite Anwendung in verschiedenen Bereichen, darunter die industrielle Fertigung, die Luft- und Raumfahrt, der Automobilbau und die Medizintechnik, um die Lebensdauer von Materialien zu verlängern, die Produktionseffizienz zu steigern und die Wartungskosten zu senken. Ob zum Schutz von Metalloberflächen vor Korrosion oder zur Verbesserung der Verschleiß- und Oxidationsbeständigkeit von Maschinenteilen – Tantalcarbid-Beschichtungen bieten eine zuverlässige Lösung für vielfältige Anwendungen.

 


Produktdetails

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Semicera bietet spezialisierte Tantalcarbid-Beschichtungen (TaC) für verschiedene Bauteile und Trägermaterialien an.Das führende Beschichtungsverfahren von Semicera ermöglicht es, Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungen mit hoher Reinheit, hoher Temperaturstabilität und hoher chemischer Beständigkeit herzustellen und so die Produktqualität von SIC/GAN-Kristallen und EPI-Schichten zu verbessern.Graphitbeschichteter TaC-Suszeptor) und verlängert die Lebensdauer wichtiger Reaktorkomponenten. Die Verwendung von Tantalcarbid-TaC-Beschichtungen dient der Lösung des Kantenproblems und der Verbesserung der Kristallwachstumsqualität. Semicera hat die Tantalcarbid-Beschichtungstechnologie (CVD) bahnbrechend weiterentwickelt und damit ein international fortschrittliches Niveau erreicht.

 

Nach jahrelanger Entwicklung hat Semicera die Technologie erobertCVD TaCdurch die gemeinsamen Anstrengungen der Forschungs- und Entwicklungsabteilung. Defekte treten im Wachstumsprozess von SiC-Wafern leicht auf, aber nach der VerwendungTaCDer Unterschied ist signifikant. Nachfolgend ein Vergleich von Wafern mit und ohne TaC sowie von Simicera-Bauteilen für das Einkristallwachstum.

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mit und ohne TaC

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Nach der Verwendung von TaC (rechts)

Darüber hinaus ist die Lebensdauer der TaC-Beschichtungsprodukte von Semicera länger und sie sind beständiger gegen hohe Temperaturen als SiC-Beschichtungen. Nach langjährigen Labormessungen ist unsere TaC-Beschichtung bis zu einer maximalen Temperatur von 2300 Grad Celsius dauerhaft einsatzfähig. Nachfolgend einige Beispiele:

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(a) Schematische Darstellung einer Vorrichtung zur Züchtung von SiC-Einkristallblöcken mittels PVT-Verfahren (b) Obere TaC-beschichtete Keimhalterung (einschließlich SiC-Keim) (c) TaC-beschichteter Graphit-Führungsring

ZDFVzCFV
Hauptmerkmal
Semicera Arbeitsplatz
Semicera Arbeitsplatz 2
Ausrüstungsmaschine
CNN-Verfahren, chemische Reinigung, CVD-Beschichtung
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