Halbleiter-Teile der zweiten Jahreshälfte für Epitaxie

Kurzbeschreibung:

SiC-beschichtete Graphitteile für SiC-Epitaxieanlagen.

Produktbeschreibung und Anwendung: Verbundenes Quarzrohr, durch das Gas geleitet werden kann, um die Rotation des Tablettbodens anzutreiben und die Temperatur zu regeln.

Geräteposition des Produkts: in der Reaktionskammer, nicht in direktem Kontakt mit dem Wafer

Wichtigste nachgelagerte Produkte: Leistungselektronik

Hauptterminalmarkt: Fahrzeuge mit alternativen Antrieben


Produktdetails

Produkt-Tags

SiC-beschichtetGraphit-Halbmond-Teilist eine Schlüsselkomponente in Halbleiterfertigungsprozessen, insbesondere für SiC-Epitaxieanlagen. Mit unserer patentierten Technologie fertigen wir das Halbmondteil mit extrem hoher Reinheit, guter Beschichtungsgleichmäßigkeit und ausgezeichneter Lebensdauer sowie hoher chemischer Beständigkeit und thermischer Stabilität.

 
Semicera Arbeitsplatz
Semicera Arbeitsplatz 2
Ausrüstungsmaschine
CNN-Verfahren, chemische Reinigung, CVD-Beschichtung
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