SiC-beschichtetGraphit-Halbmond-Teilist eine Schlüsselkomponente in Halbleiterfertigungsprozessen, insbesondere für SiC-Epitaxieanlagen. Mit unserer patentierten Technologie fertigen wir das Halbmondteil mit extrem hoher Reinheit, guter Beschichtungsgleichmäßigkeit und ausgezeichneter Lebensdauer sowie hoher chemischer Beständigkeit und thermischer Stabilität.






