C/C-Verbundwerkstoff (CFC)

Einführung in FCKW

Die aus unseren CFC-Materialien hergestellten Bauteile durchlaufen einen umfassenden Fertigungsprozess, der Imprägnierung, CVD und Karbonisierung umfasst und in modernsten Anlagen durchgeführt wird. Diese CFC-Materialbauteile erfüllen präzise kundenspezifische Anforderungen für verschiedene Anwendungen, darunter Halbleiter und Kristallzüchtungsprozesse.

Hauptmerkmale

- Außergewöhnliche Temperaturbeständigkeit: Unsere FCKW-Produkte eignen sich für den Langzeiteinsatz oberhalb von 10 °C.2000°C.

- Hohe Beständigkeit gegenüber Temperaturschocks: Dank ihrer effektiven Wärmeableitung neigen FCKW-Werkstoffe weniger zu Rissbildung bei schnellen Temperaturschwankungen. Selbst nach wiederholten Temperaturzyklen behalten sie ihre stabile Struktur und weisen eine längere Lebensdauer auf.

-Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient (CTE): Der Wärmeausdehnungskoeffizient ist0,5 – 2,5 × 10⁻⁶/K, wodurch Rissbeständigkeit und effiziente Wärmespannungsableitung gewährleistet werden

-Die anisotrope Wärmeleitfähigkeit ermöglicht eine optimierte Wärmeverteilung durch die Konstruktion.

-Verarbeitung komplexer Strukturen: CFC-Werkstoffe behalten nicht nur die gute Verarbeitbarkeit von Kohlenstoffwerkstoffen bei, sondern weisen auch eine höhere Strukturfestigkeit auf. Daher können sie zu komplexen und unregelmäßigen Bauteilen verarbeitet werden, wie zum Beispiel:groß Stützringe, Strömungsleitzylinder, Heizstrukturen, Tiegel usw.

Anwendung

Semicera CFC findet breite Anwendung in Industriezweigen mit hohen Temperaturen, starken Temperaturzyklen und hohen Reinheitsanforderungen:

1. Das thermische Feld des monokristallinen Silizium-Wachstumsofens

2. Das thermische Feld während des Kristallwachstums von Siliciumcarbid (SiC).

3. Thermische Feldstruktur der CVD-Anlage

4. Vakuum-Hochtemperaturofen

Wir liefern verschiedene Schlüsselkomponenten für thermische Feldsysteme, darunterUnterstützungRinge, Tiegel, Tiegelhalter, Strömungsleitrohre, Isolierrohre und Heizelementein mehreren Ausführungen.

Vorteile

-Außergewöhnliche thermische Stabilität:Gewährleistet die strukturelle Integrität auch unter extrem hohen Temperaturen und sichert so eine stabile Leistung bei Halbleiter- und Kristallwachstumsprozessen.

-Hervorragende mechanische Festigkeit:Verbindet hohe Festigkeit mit geringem Gewicht, reduziert Verformungen und verlängert die Lebensdauer kritischer Bauteile im Wärmefeld.

-Überlegene Beständigkeit gegen Temperaturschocks:Hält schnellen Erwärmungs- und Abkühlungszyklen ohne Rissbildung stand, wodurch Produktionsunterbrechungen und Wartungsaufwand minimiert werden.

-Längere Lebensdauer:Bietet im Vergleich zu herkömmlichen Graphitwerkstoffen eine deutlich höhere Haltbarkeit, wodurch die Austauschkosten gesenkt und die Betriebseffizienz verbessert werden.

-Optimierte Prozesseffizienz:Sorgt für eine ausgezeichnete Wärmeverteilung und Dimensionsstabilität, was zu einem gleichmäßigeren Kristallwachstum und höheren Produktionsausbeuten beiträgt.

Technische Spezifikationen

-Struktur: Kohlenstofffaser + Kohlenstoffmatrix (Dreidimensionale Struktur)

-Dichte:1,3–1,9 g/cm³

-Druckfestigkeit:150–300 MPa

-Wärmeausdehnungskoeffizient (CTE):0,5 – 2,5 × 10⁻⁶/K

-Kriechgeschwindigkeit (1600–2000°C):10⁻⁷ – 10⁻⁵ s⁻¹