Antioxidative, hochreine SiC-beschichtete MOCVD-Schale

Kurzbeschreibung:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. ist ein führender Anbieter, der sich auf Wafer und fortschrittliche Halbleiterverbrauchsmaterialien spezialisiert hat.Wir haben uns der Bereitstellung hochwertiger, zuverlässiger und innovativer Produkte für die Halbleiterfertigung verschrieben.Photovoltaikindustrieund anderen verwandten Gebieten.

Unsere Produktpalette umfasst SiC/TaC-beschichtete Graphitprodukte und Keramikprodukte, die verschiedene Materialien wie Siliziumkarbid, Siliziumnitrid, Aluminiumoxid usw. beinhalten.

Als vertrauenswürdiger Lieferant verstehen wir die Bedeutung von Verbrauchsmaterialien im Herstellungsprozess und sind bestrebt, Produkte zu liefern, die höchsten Qualitätsstandards entsprechen, um die Bedürfnisse unserer Kunden zu erfüllen.

 

Produktdetails

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Beschreibung

Unser Unternehmen bietet anSiC-BeschichtungProzessdienstleistungen mittels CVD-Verfahren auf der Oberfläche von Graphit, Keramik und anderen Materialien, wobei spezielle, kohlenstoff- und siliziumhaltige Gase bei hoher Temperatur reagieren, um hochreine SiC-Moleküle zu erhalten. Diese Moleküle lagern sich auf der Oberfläche der beschichteten Materialien ab und bilden eineSiC-Schutzschicht.

 

Hauptmerkmale

1. Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen:
Die Oxidationsbeständigkeit ist auch bei Temperaturen von bis zu 1600 °C noch sehr gut.
2. Hohe Reinheit: hergestellt durch chemische Gasphasenabscheidung unter Hochtemperatur-Chlorierungsbedingungen.
3. Erosionsbeständigkeit: hohe Härte, kompakte Oberfläche, feine Partikel.
4. Korrosionsbeständigkeit: gegenüber Säuren, Laugen, Salzen und organischen Reagenzien.

Hauptspezifikationen der CVD-SiC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur FCC β-Phase
Dichte g/cm³ 3.21
Härte Vickers-Härte 2500
Körnung μm 2–10
Chemische Reinheit % 99,99995
Wärmekapazität J·kg-1 ·K-1 640
Sublimationstemperatur 2700
Felexurale Stärke MPa (RT 4-Punkt) 415
Elastizitätsmodul Gpa (4pt Biegung, 1300℃) 430
Wärmeausdehnung (CTE) 10-6K-1 4,5
Wärmeleitfähigkeit (W/mK) 300
MOCVD-EPITAXIALE TEILE
MOCVD-Disk

Ausrüstung

um

Semicera Arbeitsplatz
Semicera Arbeitsplatz 2
Ausrüstungsmaschine
CNN-Verfahren, chemische Reinigung, CVD-Beschichtung
Semicera Lagerhaus
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