SiC-Beschichtung der Zylinderstruktur für den Zylindersuszeptor

Kurzbeschreibung:

Semicera bietet ein umfassendes Sortiment an Suszeptoren und Graphitkomponenten für verschiedene Epitaxiereaktoren.

Durch strategische Partnerschaften mit branchenführenden OEMs, umfassende Materialexpertise und fortschrittliche Fertigungstechnologien liefert Semicera maßgeschneiderte Lösungen, die exakt auf die Anforderungen Ihrer Anwendung zugeschnitten sind. Unser Streben nach Exzellenz garantiert Ihnen optimale Lösungen für Ihre Epitaxiereaktor-Anforderungen.

 

 


Produktdetails

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Unser Unternehmen bietet anSiC-BeschichtungProzessdienstleistungen auf der Oberfläche von Graphit, Keramik und anderen Materialien mittels CVD-Verfahren, sodass spezielle kohlenstoff- und siliziumhaltige Gase bei hoher Temperatur reagieren können, um hochreine SiC-Moleküle zu erhalten, die auf der Oberfläche der beschichteten Materialien abgeschieden werden können, um eineSiC-Schutzschichtfür Epitaxie, Fasstyp, hypothetisch.

 

Hauptmerkmale:

1. Hochreines SiC-beschichtetes Graphit

2. Hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit

3. GutSiC-Kristallbeschichtungfür eine glatte Oberfläche

4. Hohe Beständigkeit gegenüber chemischer Reinigung

 
硅外延2-Si-Epitaxieteile

 Hauptspezifikationen vonCVD-SiC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur FCC β-Phase
Dichte g/cm³ 3.21
Härte Vickers-Härte 2500
Körnung μm 2–10
Chemische Reinheit % 99,99995
Wärmekapazität J·kg-1 ·K-1 640
Sublimationstemperatur 2700
Felexurale Stärke MPa (RT 4-Punkt) 415
Elastizitätsmodul Gpa (4pt Biegung, 1300℃) 430
Wärmeausdehnung (CTE) 10-6K-1 4,5
Wärmeleitfähigkeit (W/mK) 300
2--cvd-sic-purity---99-99995-_60366
5----sic-crystal_242127
Semicera Arbeitsplatz
Semicera Arbeitsplatz 2
Ausrüstungsmaschine
CNN-Verfahren, chemische Reinigung, CVD-Beschichtung
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